Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Etch chamber for MxP #9222737 zu verkaufen

ID: 9222737
Wafergröße: 6"
6" Chamber rack included.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Ätzkammer für MxP ist ein Hochleistungsreaktor für Ätzanwendungen in der Materialbearbeitung. Die Ausrüstung ist in der Lage, präzise Ätzungen und hochwertige Muster mit ausgezeichneter Präzision und Wiederholbarkeit zu produzieren. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher technologischer Merkmale, die es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Materialbearbeitung machen. AMAT Etch-Kammer für MxP ist ein Zweikammer-Heißwandätzsystem. Diese Konstruktion umfasst zwei unabhängige Prozesskammern, die unterschiedliche Materialarten gleichzeitig verarbeiten können. Es ist mit modernen, hochgleichmäßigen niederenergetischen Ionenstrahlquellen ausgestattet, die präzise Ätzungen auf verschiedensten Materialien ermöglichen. Das Gerät ist so konzipiert, dass auch bei hohem Durchsatz konsistente Ätzergebnisse erzielt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Ätzkammer für MxP verfügt über eine erweiterte Multifrequenz-Ionen-optische Zielfähigkeit für präzise Ätztiefe und -dicke. Es ist mit hochentwickelten Fehlermanagement- und Fehlerdiagnosefunktionen ausgestattet, die eine maximale Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit gewährleisten. Die Maschine bietet auch eine fortschrittliche Temperaturregelung, um eine optimale Ätzleistung zu gewährleisten, und verfügt über eine isolierte Prozesskammer, um Verunreinigungen durch atmosphärische Gase zu minimieren. Etch-Kammer für MxP bietet eine Reihe von zusätzlichen Funktionen zur Maximierung der Produktivität. Sie umfasst einen integrierten Ladeanschluss zum Be- und Entladen von Substraten sowie eine vakuumunterstützte Waferkassettenübertragungsvorrichtung zum Austausch von Substraten. Es verfügt auch über integrierte Messtechnik und Feedback-Modalitäten, die dazu dienen, automatisiertes Feedback zu Prozessparametern zu liefern und ein qualitativ hochwertiges Ätzen zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Die Ätzkammer für MxP ist für die einfache Integration in andere Materialbearbeitungsumgebungen konzipiert. Es bietet eine Reihe von Verbindungsschnittstellen und ist mit einer Vielzahl von branchenüblichen Materialbearbeitungssoftware kompatibel. Das Werkzeug ist so konzipiert, dass es von einem einzigen Bediener bedient werden kann, was eine einfache und effiziente Bedienung ermöglicht. AMAT Etch-Kammer für MxP ist eine fortschrittliche, leistungsstarke Ätzanlage, die den Anforderungen moderner Materialbearbeitungsanwendungen gerecht wird. Mit seinen hochmodernen Ionenstrahlquellen, erweiterten Fehlermanagement- und Fehlerdiagnosefunktionen sowie integrierten Metrologie- und Feedback-Modalitäten bietet das Modell Präzisionsätzen mit hervorragender Wiederholbarkeit und robuster Leistung.
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