Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235981 zu verkaufen
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ID: 9235981
AMAT P5000 Reaktor, ein Rahmen für die chemische und physikalische Bedampfung, ist ein vielseitiges Gerät, das für präzisionsgesteuerte Beschichtungsanwendungen optimiert ist. Es ist in der Lage, präzise Temperatur- und Druckkontrollprofile zu erreichen, die sich ideal für Anwendungen wie Photovoltaik und Automobil-elektronische Metallisierung, Dickschichtmetallisierung, Glühen und Diffusion, Epitaxie, Ätzen und Sputtern eignen. Der Rahmen selbst besteht aus einer kreisförmigen Quarzhülle, die von einem Edelstahlrahmen getragen wird. Dies ermöglicht sowohl den Einstieg oben als auch unten in den Innenraum und schafft so ein effizientes und platzsparendes Design. Zusätzlich befinden sich eine Vakuumpumpe und ein Gaskrümmer außerhalb der Hülle, um zuverlässige und kontrollierte Bearbeitungsbedingungen innerhalb des Hohlraums zu gewährleisten. Der innere Hohlraum ist mit einem Bornitrid-Feuerstein ausgekleidet, der eine zuverlässige und gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit ermöglicht. Dieses robuste wärmeisolierende Material ist insbesondere bei Plasmaoperationen wie Magnetronsputtern und Reaktivätzen von Bedeutung. Darüber hinaus bietet der Rahmen eine optimale Stabilitätsplattform, wodurch die Dichtheit des Hohlraums unter maximalen Betriebsbedingungen erhalten bleibt. Der Gaseinlaßkrümmer ist für einen leichten Zugang ausgelegt und wird über einen flexiblen Schlauch am Kammerboden befestigt. Die einströmenden Gase werden in einem externen Mischblock vorgemischt und dann mit dem entsprechenden Gemisch direkt in die Kammer eingeleitet. Der einstellbare Druck besteht aus einem Gasregelventil und einem von der Tafel aus überwachbaren Druckmeßgerät. Die Temperaturregelung von APPLIED MATERIALS P5000 frame nutzt einen Heißwandfadenheizer für eine effektive und präzise Wärmeverteilung. Diese Heizung besteht aus einem den Innenraum umlaufenden Kreisfaden und wird über einen Stromregler angesteuert, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Die Kammer ist auch mit mehreren Thermoelementen ausgestattet, die eine Rückkopplung der Temperatur in Echtzeit ermöglichen. Mit überlegener Präzision und Genauigkeit ist AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Rahmen eine ideale Wahl für anspruchsvolle Applikationsanforderungen. Die robuste Konstruktion und die einstellbaren Einstellungen ermöglichen einen sicheren und konsistenten Betrieb und sorgen für zuverlässige Leistung und Wiederholbarkeit der Prozesse.
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