Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286 zu verkaufen

AKT/Aktell Endura II Front-End Metallization Reactor ist ein hochmoderner Reaktor, der eine effiziente und kostengünstige Methode für die Herstellung von integrierten Schaltungen (IC) bietet. Der Endura II bietet hohe Erträge und ein breites Prozessfenster, wodurch Gerätehersteller die besten Produktionsraten erzielen können. Alle Komponenten sind so konzipiert, dass sie strenge Anforderungen an die Kompatibilität mit führenden IC-Prozessknoten und Steuerungstechnologien erfüllen. Der Front-End-Metallisierungsreaktor verwendet robuste physikalische Prinzipien der Dampfabscheidung, um ultradünne gleichmäßige Schichten von Materialien wie Aluminium und Wolfram bereitzustellen. Das Verfahren beginnt mit einer Reinigung vor der Abscheidung, um organische Rückstände aus dem Substrat zu entfernen und für die Abscheidung dünner Filme vorzubereiten. Bei der Abscheidung werden ultrahochreine Metallvorläufer in einem Trägergas schnell verdampft und zu einer Dünnfilmschicht auf dem Substrat kondensieren gelassen. Das System ist mit einem leistungsstarken Vakuumsystem integriert, das wettbewerbsfähige Zykluszeiten und Genauigkeit ermöglicht. Sensor-Feedback verbessert die Prozessleistung und hilft anderen Systemen, die Anforderungen von Sub-50nm-Prozessen aufrechtzuerhalten. Die Prozesssteuerung beinhaltet einen geschlossenen Betrieb zur verbesserten Prozesssteuerung und Ausbeute. Temperatur, Druck und Empfindlichkeit werden kontinuierlich überwacht. Die Endura II ist für eine präzise und schnelle Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten ausgelegt. Es kann bis zu sechs Substrate gleichzeitig enthalten und Substrate von 12mm bis 300mm Durchmesser handhaben. Mit einer maximalen Temperatur von 650 ° C und einer maximalen Drehzahl von 600 U/min kann mit ihr in kurzer Zeit hohe Genauigkeitsergebnisse erzielt werden. Darüber hinaus unterstützt der Endura II eine breite Palette von Prozessgasen und ermöglicht eine Vielzahl von Abscheidungsrezepten. AMAT/Aktell Endura II Front-End Metallization Reactor ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für Hersteller, die eine effiziente Lösung für die IC-Produktion benötigen. Mit seinem vielseitigen Design kann es eine breite Palette von Substraten und Prozessmaterialien handhaben. Die leistungsstarken Verarbeitungsfunktionen und die Prozesskontrolle helfen Herstellern, die besten Ergebnisse zu erzielen und die Anforderungen anspruchsvoller Geräteknoten zu erfüllen. Dank seiner Fähigkeit, ultradünne gleichmäßige Schichten zu handhaben, ist der Endura II ein leistungsstarkes Werkzeug für die Produktion integrierter Schaltungen.