Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #9294263 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Front-End Metallization für Endura II ist ein fortschrittlicher, kostengünstiger, leistungsstarker Hochdurchsatzreaktor. Es ist eine vollautomatisierte Plattform, die die Herstellung von Front-End Integrated Circuit (IC) -Geräten wie anwendungsspezifischen integrierten Schaltungen (ASIC) und Equipment-on-Chip (SoC) -Geräten mit Dünnschichtmetallisierung für eine deutlich verbesserte Geräteleistung ermöglicht. Diese Maschine kombiniert verbesserte Prozessfähigkeit, niedrigere Betriebskosten und eine verbesserte Prozessvorbereitung mit benutzerfreundlicher Automatisierung, um eine schnelle und kostengünstige Herstellung von Halbleiterbauelementen zu ermöglichen. Der Endura II verfügt über eine einzigartige verteilte Architektur mit verbesserten Wafer-Heiz- und Kühlfunktionen. Das System verfügt über eine leistungsstarke Mehrstationen-Gasbox mit einem Graphit-Suszeptor für schnelles Heizen und einer leistungsstarken Vakuumeinheit für schnelle Kühlung. Die verteilte Architektur des Reaktors ermöglicht hohe Durchsätze von bis zu 2.700 Waffer-Stunden und 16 Waferebenen. Die Maschine verfügt über ein beheiztes Gehäuse, einen Hochvakuumdruck und einen Zweikammer-Lineargaskasten zur schnellen Erwärmung. Der Gaskasten enthält einen Gaseinlaß, einen Graphit-Suszeptor, einen Plasmagenerator, ein Hochvakuum und eine Abgasöffnung zur Gasströmungsregelung. AMAT Endura II ist mit Ultra-High Density Plasma (UHDP) für optimale Prozesskompatibilität ausgestattet. UHDP ist ein Spezialwerkzeug, das eine hocheffiziente Reinigung der Waferoberflächen und die Entfernung von Verunreinigungen, wie Metalloxiden, aus dem Front-End-Metallisierungsprozess bietet. UHDP wurde verwendet, um eine effiziente plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PE-CVD) für eine verbesserte Geräteleistung zu erreichen. Die Endura II verfügt über eine vollautomatisierte Prozessausführungsengine, die eine programmierbare Synchronisation der verschiedenen Module ermöglicht. Durch diese Maßnahme kann der Reaktor bei jedem Schritt des Metallisierungsprozesses die Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Gasstrom genau steuern. Die Software beinhaltet auch eine umfassende Asset-Diagnose zur Überwachung und Kontrolle der Modellleistung. Dies gewährleistet eine erhöhte Gleichmäßigkeit, einen verbesserten Durchsatz und bessere Metallisierungsausbeuten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II bietet Komplettlösungen für Dünnschichtmetallisierungsprozesse mit hohem Durchsatz, effizienter Prozessaufbereitung und überlegener Prozesskontrolle. Durch die Kombination dieser Fähigkeiten mit UHDP und automatisierter Prozesssteuerung ermöglicht der Reaktor eine kostengünstige Herstellung von Halbleiterbauelementen mit höherer Leistung und verbesserter Ausbeute.