Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA #9311195 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA
ID: 9311195
Weinlese: 2010
Etcher Process: ETC 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA (Metall-Ätz- und Selektiv-Abscheidung Atomschicht) ist eine Art von Plasma-basierten Reaktor in der Halbleiterherstellung verwendet. Es verwendet eine Reihe von verschiedenen Prozessen, um Metallschichten auf der Oberfläche von Materialien, Merkmalen und Substraten abzuscheiden, zu mustern, zu ätzen und zu passivieren. AMAT G5 MESA arbeitet nach drei Grundprinzipien. Das erste Prinzip ist das des Multimode-Betriebs, mit dem der Reaktor für eine Vielzahl von Wafer-Herstellungsprozessen wie Photolithographie, Ätzen und Abscheidung eingesetzt werden kann. Das zweite Prinzip ist das der Mehrfachmetallisierungschemie, die es dem Reaktor ermöglicht, hochwertige Metallschichten zu erzeugen, die auf den Herstellungsbedarf zugeschnitten sind. Das dritte Prinzip ist schließlich die erhöhte Materialverträglichkeit, die es ermöglicht, unterschiedliche Materialien im Reaktor zu verwenden, um den Kundenanforderungen gerecht zu werden. In Bezug auf die Gesamtstruktur ist der Plasmareaktor APPLIED MATERIALS G5 MESA mit drei Kammern mit jeweils einer eigenen Prozesskammer, Vakuumpumpen, Gasfördersystem und Gassteuerungssystem ausgelegt. Die chemische Abgabe und Reaktion wird durch die Shutterless-Technologie der Prozesskammer orchestriert, die eine Ätz- und Abscheidungskontrolle auf Verschlussbasis verwendet. Dies ermöglicht eine präzise Abstimmung des Prozesses durch unterschiedliche Prozessparameter wie Druck und Gasstrom. In der Prozesskammer von G5 MESA befindet sich auch die fortgeschrittene Plasmaquelle des Reaktors, die es der Kammer ermöglicht, bei niedrigen Temperaturen und niedrigen Drücken zu arbeiten. Dies ermöglicht es AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA, verschiedene Arten von Metallschichten effektiv abzuscheiden und zu ätzen, ohne die Oberflächeneigenschaften des Materials zu beeinträchtigen. Darüber hinaus verfügt AMAT G5 MESA auch über einen integrierten digitalen Flachbettscanner, der eine genaue Überwachung und Steuerung der zu bearbeitenden Schichten ermöglicht. Der Advanced Materials APPLIED MATERIALS G5 MESA Plasmareaktor ist ein vielseitiges Werkzeug, das die Herstellung hochwertiger Metallschichten ermöglicht. Seine fortschrittliche Technologie und Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Hersteller, die robuste, präzise und leistungsstarke Komponenten erstellen möchten. Mit seinem Tieftemperaturbetrieb und der verbesserten Materialverträglichkeit ist G5 MESA eine ideale Lösung für viele Fertigungsanforderungen.
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