Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000 #293658099 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Die Loadlock-Kammer für P5000 ist ein vielseitiger Hochleistungsreaktor für eine Vielzahl von Waferbearbeitungs- und Epitaxieanwendungen. Sein Turbofan-Design macht es sowohl für große Wafer als auch für kleine Prozessoperationen geeignet. Es kann Temperaturen bis 1000 ° C erreichen und verfügt über eine Dickschichtheiztechnologie, die auf eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit ausgelegt ist. Das Gerät eignet sich für Ultrahochvakuum- oder Niederdruckanwendungen. Die HF-Mikrowellenquellen sind zur optimalen Positionierung in einer beweglichen Plattform montiert. AMAT Loadlock-Kammer bietet eine effiziente und kostengünstige Lösung für Substrataufbereitungsanforderungen. Es ist für nicht-inerte Gasanwendungen konzipiert und ermöglicht eine optimale Steuerung der Gasumgebung und des Drucks. Die P5000-Kammer verfügt über eine mehrzonige lineare Stufe - ausgestattet mit drei (3) Eurorack-Linearantrieben zur unabhängigen Bewegung von Substrat- oder Zielpositionen - sowie eine Softwareschnittstelle zur präzisen Steuerung aller Prozessparameter. Die Kammer bietet auch einen zusätzlichen Positionierer für rotierende Substrate, um sie im Bearbeitungsbereich zu halten. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Die Loadlock-Kammer verfügt über viele nützliche Funktionen und Zubehör, wie eine Sensorleiste für die thermische 1/4-ft-Messung, eine aktive Elektronenstrahl-Abscheidungseinheit, eine UV-Bestrahlungsquelle und einen Ionenstrahl-Sputterablenker. Das System umfasst außerdem eine Lastschloß-Transferkammer, einen mehrachsigen Trenndichter und einen Faraday-Schild zur genauen Waferbelichtung. Zusätzlich kann die Kammer mit einer Vielzahl fortschrittlicher Diagnosewerkzeuge, wie einer Live-Cell-Bildgebungseinheit, einem optischen Emissionsspektrometer oder einem Raman-Spektrometer, sowie einem 3D-Profiler integriert werden. Die Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Substratgrößen und -dicken zu unterstützen. Es ist mit einer extrem hohen Genauigkeit Bewegungssteuerelektronik ausgestattet und hat die Fähigkeit, bis zu 25 manuelle Parameter für die einfache Einrichtung und Kalibrierung der Arbeitsparameter zu speichern. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Die Loadlock-Kammer bietet einen zuverlässigen, präzisen und wiederholbaren Prozessablauf für jede Art von Substratvorbereitung.