Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS MOCVD HP+ chamber #9046115 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS MOCVD HP + ist ein metallischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD), der das Wachstum von Hochleistungs-Halbleitermaterialien wie InP, GaAs und GaN ermöglicht. Das einzigartige Design der HP + -Kammer bietet Herstellern eine außergewöhnlich hohe Kontrolle über den Prozess und ermöglicht eine präzise Kontrolle über die Qualität des Materials und die Wachstumsrate. Die HP + -Kammer ist mit zwei unabhängig voneinander betriebenen Reflektorelektronenstrahlquellen, oben und unten, ausgebildet. Diese Quellen optimieren die Gleichmäßigkeit des Abscheideprozesses, da jede einzeln eingestellt werden kann, um etwaige durch das Substrat selbst verursachte Gleichmäßigkeitsschwankungen auszugleichen. Darüber hinaus sind die Reflektoren für eine schnelle Reinigung und Wartung abnehmbar. Die Quellbaugruppe enthält auch eine einzigartige, eigenständige HF-Vorspannungsquelle, die eine genaue Kontrolle der Materialzusammensetzung und -dicke ermöglicht. Die Reaktionskammer der HP + -Kammer ist auf maximale Gleichmäßigkeit ausgelegt. Die Kammer ist elliptisch geformt und ermöglicht eine symmetrische und gleichmäßige Verteilung der reaktiven Spezies. Außerdem ist die Kammer in einem Hochtemperaturmantel eingeschlossen, der sie von Umgebungsverunreinigungen isoliert, die die Gleichmäßigkeit der Abscheidung verringern können. Die Reaktionskammer wird um mehrere zusätzliche Merkmale erweitert, die die Leistung der HP + -Kammer deutlich verbessern. Ein Ultra Fast Mechanical Shut Off (UFMO) Verschluss ist an der Oberseite der Kammer installiert, so dass der Prozess in Minuten statt Stunden gestoppt werden. Ein externes Abscheidungsüberwachungssystem sorgt für eine Echtzeitüberwachung des Abscheideprozesses und ermöglicht eine schnelle Korrekturwirkung proaktiv und vor der Beeinflussung des Substrats. Zur präzisen Steuerung der Abscheidebedingungen sind ein automatisiertes Gasstromregelsystem und ein Temperaturregelsystem vorgesehen. Die HP + -Kammer verfügt auch über mehrere erweiterte Sicherheitsfunktionen. Ein zweistufiger Sperrschlüssel sorgt für maximale Sicherheit im Notfall. In der ersten Stufe wird der Absperrverschluss geschlossen, um den Gasstrom in die Kammer zu stoppen. In der zweiten Stufe werden die Zulaufgasleitungen abgeschnitten, um eine vollständige Gasabschaltung zu gewährleisten. Insgesamt bietet die AMAT MOCVD HP + -Kammer eine leistungsfähige und zuverlässige Lösung für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleitermaterialien. Sein einzigartiges Design ermöglicht eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses, was zu hochwertigeren Materialien mit verbesserten Ausbeuten führt. Darüber hinaus sorgen seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale für die Sicherheit des Prozesses und der Bedienung der Maschine.