Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series #9265323 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS/MOORE 7700 Series Reactor ist ein in der Halbleiterindustrie übliches Prozesswerkzeug. Es ist eine vertikale Ofenausrüstung, die für die Verarbeitung von Wafern unterschiedlicher Größe entwickelt wurde und eine beispiellose Temperaturgleichmäßigkeit, einen verbesserten Waferdurchsatz und Flexibilität aufweist. Die AMAT 7700 Serie verfügt über eine einstellbare Plattformhöhe, die es dem Bediener ermöglicht, den Ofen an seine Prozessanforderungen anzupassen. Es hat einen Temperaturbereich von bis zu 1600 ° C und eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit, die exakte und konsistente Temperaturen über die Kammer ermöglicht. Darüber hinaus bietet dieses System eine hohe Wiederholbarkeit für eine hohe Gesamtprozesskonsistenz, unabhängig vom verwendeten Rezept. Das 7850 Feature Set gewann AMAT als Fabtech Product of the Year für Exzellenz in Engineering, Design und Funktionalität. Dieses Gerät verwendet eine Rapid Thermal Cycling (RTC) -Technologie, um die Bearbeitungszeiten von Wafern von sogar Stunden auf Minuten zu reduzieren und einen höheren Durchsatz zu ermöglichen. Darüber hinaus ist die Maschine flexibel, so dass der Bediener die Wafergrößen anpassen kann, mit kompatiblen Wafergrößen von 1 Zoll bis 12 Zoll Wafer. Die Kammer der Serie MOORE 7700 ist aus Edelstahl gefertigt, wobei die Wände und die Decke der Kammer eine innovative keramische Isolierung aufweisen, um sicherzustellen, dass die Temperatur während des Betriebs erhalten bleibt. Diese gute Kammerisolierung hilft, das Werkzeug im Betrieb kühler zu halten und gleichzeitig den unnötigen Energieverbrauch zu reduzieren. Die Maschine nutzt eine Kombination aus Heiß- und Kühl-Gas-Reaktortechnologie, um eine ordnungsgemäße thermische Strömung der Wafer zu ermöglichen. Die 7850 Serie verfügt zusätzlich über eine modulare Kassetten-zu-Kassetten-Ladetechnologie, die ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Chargen von Wafern ermöglicht. Die Werkzeugsensoren ermöglichen eine präzise Überwachung des Konstruktionsprozesses, um in anspruchsvollen Prozessen eine gleichbleibende und reproduzierbare Leistung zu erzielen. Kurz gesagt, APPLIED MATERIALS 7700 Series Reactor ist ein Hochleistungswerkzeug, das in fortschrittlichen Prozessen eingesetzt wird. Es bietet eine ausgezeichnete thermische Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie flexible Wafergröße und schnelles thermisches Zyklus und trägt zur Verringerung der gesamten Produktionszeit bei. Die modulare Kassetten-zu-Kassetten-Ladetechnologie und die Kammerdämmung tragen zu ihrer Gesamtwirkung und Wirksamkeit bei.
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