Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS MST #9227637 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS MST ist ein Reaktor zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine fortgeschrittene Form der chemischen Dampfabscheidung (CVD) Reaktor und wird verwendet, um Schichten aus Metall, Oxid, Nitrid und anderen metalorganischen Materialien auf Substraten von Silizium, Siliziumcarbid, Galliumarsenid und Diamant, unter anderem abzuscheiden. Im AMAT-MST-Reaktor wird das abzuscheidende Material aus einer der Reaktionskammer benachbarten Kammer (die auch der Reinhaltung der Reaktionskammer dient) bezogen. Das Quellmaterial wird zunächst erhitzt und strömt dann in die Reaktionskammer, wo es einem Plasma (einem hochenergetischen Gas) ausgesetzt wird, das von einer induktiv gekoppelten Hochfrequenzquelle erzeugt wird. Das Plasma zerlegt die Ausgangsmaterialmoleküle, die sich dann in einem dünnen, gleichmäßigen und konformen Film auf die Substratmaterialoberfläche abscheiden. Das Substratmaterial wird durch eine Elektronenzyklotronresonanzquelle (ECR) erwärmt, um den Abscheidungsprozess zu unterstützen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der MST-Reaktor bietet eine erhöhte Prozessgenauigkeit und ein geringeres thermisches Budget im Vergleich zu herkömmlichen CVD-Systemen und bietet eine deutlich bessere Geräteleistung. Seine CVD-Vorläufer und Verarbeitungsparameter können bei jedem Abscheidungsschritt genau gesteuert werden, was eine genaue Kontrolle über die Materialzusammensetzung, die Größe der Merkmale, die Schichtdicken und die Schnittstellen zwischen abgeschiedenen und vorhandenen Materialien ermöglicht. Die Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der CVD-Schichten bieten ein hohes Maß an Prozessausbeute und zuverlässiger Geräteleistung. Das Plasma bietet eine Niederdruck-Arbeitsumgebung, unabhängig von druckempfindlichen Materialeigenschaften, die für einige Materialien wie Nitride und Oxide ideal ist. Die Komponenten des MST-Reaktors sind für einen zuverlässigen, langfristigen Betrieb ausgelegt. Die Reaktionskammer selbst ist aus Edelstahl 304 aufgebaut, während die Wände und Abschirmungen aus einer Legierung aus Aluminium und Molybdän bestehen. Die Heizungen und Motoren, die zur Steuerung der HF-Quelle und der Substrattemperatur verwendet werden, sind robust und zuverlässig, und das hermetisch verschlossene Gefäß hilft, das Ausgasen molekularer Spezies aus dem Reaktor zu verhindern. Der automatisierte Betrieb der Reaktionskammer ermöglicht eine unbemannte Verarbeitung in einer industriellen Umgebung. Zusammenfassend werden AMAT/APPLIED MATERIALS MST-Reaktoren zur Abscheidung konformer Dünnschichtschichten auf einem Substrat eingesetzt. Seine präzise Kontrolle der Materialzusammensetzung, Schichtdicken, Merkmalsgrößen und Gleichmäßigkeit ermöglicht eine zuverlässige Geräteleistung und hohe Prozessausbeuten. AMAT MST-Systeme verwenden eine Niederdruck-Plasmaumgebung, die für bestimmte Materialien wie Oxide und Nitride ideal ist. Dank der robusten Produktpalette und des automatisierten Betriebs eignet es sich für den langfristigen, großvolumigen Einsatz in der Industrie.