Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #293665016 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia (AMAT Olympia) ist ein verbesserter plasmaverbesserter PECVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die industrielle Abscheidung von Dünnfilmbeschichtungen und -materialien entwickelt wurde. Angewandte Materialien Olympia Reaktor verfügt über ein innovatives induktiv gekoppeltes Abscheideverfahren, das die Abscheidung von Materialien auf Oberflächen in einem Schritt ermöglicht. Dieser Prozess ist in der Lage, hohe Qualität und Wiederholbarkeit zu erreichen. Olympia verfügt über eine zylindrische Vakuumkammer und die hochdichte Plasmaquelle befindet sich unten. Die Plasmaquelle verwendet eine Kombination aus Gasdruck, Wärme und Spannung, um das Plasma zu erzeugen und die Reaktanden zu diffundieren und zu reagieren. Die Reaktanten werden durch einen Gasstrom zum Substrat transportiert, der dann mit der Reaktionsspezies aus dem Plasma vermischt wird. Das Kammerdesign umfasst ein dreiseitiges Fenster für komplexe Mehrschichtbeschichtungen sowie mehrere seitliche und hintere Dichtungsöffnungen zum Seitenwandätzen und schnellen Wiederabscheiden von dünnen Folien. Dadurch kann die Kammer mehrere Prozesse wie Ätzen, Abscheiden und Oxidation in einem Zyklus durchführen. Im Kammerboden befindet sich auch die elektromagnetische Spule zur induktiv gekoppelten Abscheidung. AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia Reaktor verfügt über eine integrierte Automatisierungs- und Prozesskontrollausrüstung, mit der der Bediener Prozessparameter für eine Vielzahl von Materialien anpassen und einstellen kann. Zu diesen Parametern zählen Druck, Temperatur, HF-Leistung, Gaszusammensetzung und Prozessdauer. Der AMAT Olympia Reaktor ist zudem mit einem robusten analytischen Diagnose- und Überwachungssystem ausgestattet. Dazu gehören ein Gasanalysator, ein Massenspektrometer, ein Quadrapolmassenfilter und eine erweiterte Druckkontroll- und Diagnoseeinheit, mit der der Benutzer verschiedene Prozessbedingungen überwachen kann. Dies ermöglicht es dem Bediener, Erträge und Durchsatz zu optimieren und Produktsicherheit und gleichbleibende Qualität zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet die fortschrittliche computergesteuerte Software dem Benutzer die Möglichkeit, Daten für Analyse und Feedback zu analysieren und aufzuzeichnen. So kann der Anwender die Prozessparameter kontinuierlich überwachen und optimieren sowie den Prozess beheben und verbessern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Olympia wurde entwickelt, um extrem zuverlässig zu sein und Ausfallzeiten zu minimieren. Der modulare Aufbau und die skalierbare digitale Architektur ermöglichen geradlinige Konfigurationsänderungen für zusätzliche Flexibilität und eine schnelle Inbetriebnahme der Produktion. Insgesamt ist Olympia ein fortschrittliches, zuverlässiges und flexibles Werkzeug für die industrielle Abscheidung von Dünnschichtbeschichtungen und -materialien. Es kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Komponenten zuverlässig herzustellen, von mikroelektronischen Geräten bis hin zu Baumaterialien, mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus ist die Prozesssteuerungsmaschine und das Diagnosewerkzeug eine ideale Wahl für die Optimierung von Qualität und Produktivität.