Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia ist ein Spitzenreaktor für die Abscheidung von dünnen Schichten in IC-Fertigung und Halbleiteranwendungen. Es basiert auf AMAT proprietären Core Application Engine namens Atomic Layer Deposition Technology (ALD). Der AMAT Olympia Reaktor besteht aus zwei konzentrischen Reaktoren, die durch ein vertikales Gasphasenvolumen verbunden sind, das eine patentierte rotierende Quad-Pin-Düse enthält. Jeder Reaktor belegt ein Viertel des Gasphasenvolumens, während die Quad-Pin-Düse eine gleichmäßige Abscheiderate und Gleichmäßigkeit über die gesamte Substratoberfläche sowie eine effiziente Gasphasenverteilung liefert. ANGEWANDTE MATERIALIEN Olympia-Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, einschließlich Metalloxide, Schwefel, Stickstoff, Chlor, Bor und andere hochdielektrische Materialien. Die einheitliche Abscheiderate und Gleichmäßigkeit sind so konzipiert, dass für jede Anwendung ein reproduzierbarer Prozess gewährleistet ist. Die rotierende Quad-Pin-Düse ermöglicht eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses mit einstellbaren Parametern wie Düsenwinkel, Düsengeschwindigkeit, Gasphasenkonzentration und Übertragungsgeschwindigkeit. Die genaue Kontrolle der Abscheidung wird durch die automatisierte Gasdrucküberwachung des Reaktors weiter verbessert. Dies trägt dazu bei, die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Olympia Reaktor verfügt auch über erweiterte automatisierte Wärmemanagement. Dieses Merkmal ermöglicht eine präzise Steuerung des Substratheizprozesses, wodurch eine vorhersagbare Abscheidung gewährleistet ist. Das automatisierte Thermomanagement hilft, Defekte sowie die Möglichkeit von thermischen Schäden während des Abscheidungsprozesses zu reduzieren. AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia Reaktor ist mit einem integrierten Gas-Bulk-Fördersystem ausgestattet, das Hochdruckstickstoff verwendet, um eine überlegene Wachstumskontrolle zu gewährleisten. Der Hochdruckstickstoff sorgt für eine gleichbleibende Abscheidegeschwindigkeit und ist wesentlich für Anwendungen, die höhere Präzisionsergebnisse erfordern. Der Reaktor bietet auch Auto-Zentrierung Fähigkeiten, so dass es einfacher, das Substrat zu zentrieren und die Möglichkeit von Schäden durch Fehlausrichtung verursacht zu reduzieren. AMAT Olympia Reaktor ist ein vielseitiges Abscheidungssystem mit Anwendungen in der Industrie, Forschung und anderen Anwendungen. Seine Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für wiederholbare, langfristige Abscheidungsprozesse. Seine fortschrittliche thermische Handhabung sorgt für eine genaue Temperaturregelung und gewährleistet vorhersehbare Abscheidungsraten und Gleichmäßigkeit. Das fortschrittliche Gas-Bulk-Abgabesystem gewährleistet eine konstante Gasphasenkonzentration und bietet eine hervorragende Kontrolle über den Abscheidungsprozess für eine Vielzahl von Materialien.