Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9294421 zu verkaufen

ID: 9294421
CVD System, 12" Process: SiN, LowK, ALD 2015 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia CMOS Reaktor ist ein hochentwickeltes Stück Technologie entwickelt, um Lithographie-Leistung in der Halbleiterherstellung zu maximieren. Dieses Gerät ist in der Lage, mit mehr als 30 Photomasken zu arbeiten und verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Lithographiefunktionen wie Phasenverschiebungsmaskierung, Doppelbelichtungslithographie und Näherungskorrektur. Der Reaktor verfügt über eine einzigartige Doppelbelichtungstechnik, die eine präzise Positionierung und Minimierung der Belichtung ermöglicht. Diese Funktion verbessert die Fertigungseffizienz, ohne Auflösung oder Präzision zu beeinträchtigen. AMAT Olympia CMOS Reaktor bietet auch eine Vielzahl von auflösungsfördernden Optionen wie Off-Axis-Beleuchtung, Interferometrie und Fokus Verfeinerung. Darüber hinaus ist das System in der Lage, eine Reihe von Materialien wie Polyimid, PE-CVD-Photoresists, Photoresist Reflow und mehr zu verwenden. Der Reaktor bietet auch eine Vielzahl von erweiterten Funktionen, um den Waferdurchsatz und die Ausbeute zu maximieren. Hierzu gehören ein CCD-Sensor (High-Density Charge-Coupled Device) und eine Prozeßsteuereinheit mit geschlossenem Regelkreis. Der CCD-Sensor ermöglicht es der Maschine, die optimale Platzierung und Belichtung von Mustern schnell zu erkennen und anzupassen, um die bestmöglichen Lithographieergebnisse zu erzielen. Das Prozesssteuerungswerkzeug mit geschlossenem Regelkreis minimiert ferner den manuellen Anpassungsbedarf, da es eine konstante Rückkopplung der Waferposition und der Prozessparameter liefert, um automatisch alle notwendigen Anpassungen vorzunehmen, sodass die Maschine mit optimaler Effizienz laufen kann. Auf der Software-Seite, ANGEWANDTE MATERIALIEN Olympia CMOS Reaktor läuft die neueste Version von APPLIED MATERIALS Olympus Lithographie-Suite. Diese Softwareplattform bietet eine Fülle von Fähigkeiten, wie Musterprojektion, Verzerrungskorrektur, Kammermapping, Kantenentfernung und vieles mehr. Darüber hinaus ist die Olympus-Suite auch in der Lage, Lithographie-Prozesse vor der eigentlichen Wafer-Verarbeitung zu simulieren und den Betreibern einen detaillierten Überblick über die erwarteten Ergebnisse zu geben. Insgesamt ist der AMAT/APPLIED MATERIALS/Olympia CMOS Reaktor eine unglaublich vielseitige und effiziente Lithographietechnologie, die für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Das Asset verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Lithographie-Funktionen, CCD-Sensor mit hoher Dichte und Prozesssteuerung mit geschlossenem Regelkreis sowie die Lithographie-Software-Suite Olympus für beispiellose Leistung.
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