Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Oxide chambers for MxP+ #293650013 zu verkaufen

ID: 293650013
Wafergröße: 6"-8"
6"-8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Oxidkammern für MxP + sind ein hochmoderner Hochleistungsoxidreaktor. Dieses Gerät wird mit zwei Prozesskammern geliefert, die jeweils mit separaten unabhängigen Stromquellen ausgestattet sind und separate Oxidreaktorkonfigurationen oder eine gleichzeitige Beladung Ihrer Wafer ermöglichen. Es wurde speziell für die Herausforderungen moderner Gerätefunktionen der nächsten Generation entwickelt, wie z. B. Schicht- und Geräteinterstrukturen, und bietet extreme Prozessstabilität, Präzision und Wiederholbarkeit. AMAT Oxidkammern für MxP + haben die Flexibilität, eine breite Palette von Vorläufern zu akzeptieren, darunter Lachgas (N2O), fluoriertes Gas mit niedrigen k und eine Vielzahl von Silizium-, Germanium- und metallorganischen Reaktanden. Sie verfügen über ein integriertes HD-OFF-III Hot-Wall-CVD-Verfahren und können sowohl Hochtemperaturglüh- als auch Hochdruckprozesse abwickeln. Das System kann mehrere Gase verwenden, und aufgrund der Verwendung unabhängiger Stromquellen ist das Gerät so konzipiert, dass Störungen während der Verarbeitung der Wafer verhindert werden. Der Grundoxidationsprozess von APPLIED MATERIALS Oxidkammern für MxP + ist schnell und zuverlässig, und die resultierenden dielektrischen Filme sind gleichmäßig sowohl auf Silizium- als auch auf Metall-Oxid-Halbleiter (MOS) -Bauelementen verteilt. Bei der Dünnschichtpassivierung sorgen die Oxidkammern für Einheitlichkeit mit Standard-Standardfolien, die auf verschiedenen Substraten mit verschiedenen Ätzchemien verarbeitbar sind. Außerdem bieten die Oxidkammern wiederholbare Öffnungen in den Folien und gleichmäßige Füllraten. Darüber hinaus sind Oxidkammern für MxP + mit einem Hochleistungs-optischen Profiler und fortschrittlichen Videomikroskopen für die Echtzeit-Prozesssteuerung und -überwachung von Filmen ausgestattet, die konstant hohe Genauigkeitsergebnisse gewährleisten. Neben der Prozesskammer wird diese Maschine auch mit einem Softwarepaket geliefert, das die Bedienung und Wartung des Werkzeugs einfach und bequem macht. Diese Software bietet genaue Prozesskontrollen, Reporting und Prozessrezeptmanagement sowie detaillierte Fehleranzeigen und Alarme. AMAT/APPLIED MATERIALS Oxidkammern für MxP + sind eine ideale Wahl für diejenigen, die einen zuverlässigen und hocheffizienten Oxidreaktor für die Verarbeitung ihrer fortschrittlichsten elektronischen Geräte benötigen. Mit seiner robusten Konstruktions- und Prozesskontrolle bietet dieses Asset die erforderliche Präzision und Wiederholbarkeit bei höchster Genauigkeit und Durchsatz.
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