Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 DxZ #9183838 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ ist ein anspruchsvoller Hochtemperatur-Chemikaliendampfreaktor (HTCVD), der die Abscheidung dünner Filme bei Temperaturen bis 1.400 ° C ermöglicht. Dieser Reaktor ist für Forschung und industrielle Anwendungen wie die Herstellung von Metalloxid-Dünnschichten und Siliziumkarbidschichten konzipiert, die ein breites Spektrum an Material- und elektrischen Eigenschaften aufweisen. AMAT P5000 DxZ ist ein Mehrzonengerät, bei dem jede Zone unabhängig arbeitet und über eigene Regelparameter wie Temperatur, Durchfluss, Reaktantkonzentrationen, Kammerdruck usw. verfügt. Die Temperatur innerhalb jeder Zone kann gleichmäßig oder stufenweise bis zu 1.400 ° C eingestellt werden, während der Innendruck zwischen 6 und 40 mbar gehalten werden kann. Die Reaktanden werden über eigene Einlässe in jede Zone geliefert, während jede Zone auch einen Duschkopf enthält, durch den nicht umgesetzte Reaktanden rückgespült werden können. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 DxZ hat eine einzigartige rohrförmige Konstruktion mit zwölf konzentrischen zylindrischen Teilen, die als Heizelemente und Behälter für das Prozessgas dienen. Diese Teile werden mit hochreinem Molybdän hergestellt und mit einem wassergekühlten Kupfer-Hitzeschild gekoppelt, und zusammen bieten sie eine ausgezeichnete thermische Kontrolle und gleichmäßige Erwärmung über den gesamten Substratbereich. Die Gesamttemperatur ist typischerweise besser als ± 1 ° C. P5000 DxZ umfasst erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Prozessüberwachung, automatisierte Unfallerkennung, Explosionsschutz, Fehlermeldung usw. Es ist auch mit einer erweiterten Steuereinheit mit benutzerfreundlicher grafischer Benutzeroberfläche und Fernüberwachungsfunktionen ausgestattet, so dass es einfach in eine bestehende Prozesssteuerungsmaschine integriert werden kann. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 DxZ eine ausgezeichnete Wahl für die Hochtemperaturabscheidung von dünnen Filmen und eignet sich sowohl für den Einsatz in der Forschung als auch in industriellen Anwendungen. Mit seinem fortschrittlichen Design und seinen Funktionen kann dieses Tool sehr reproduzierbare und zuverlässige Dünnschichtabscheidungsprozesse ermöglichen.
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