Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I, allgemein AMAT P5000 Mark I genannt, ist ein Hochleistungs-Hochdurchsatzwerkzeug für die chemische Dampfabscheidung (CVD). ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Mark I ist in der Lage, sowohl kleine als auch große Substratgrößen zu verarbeiten, was es zu einer idealen Lösung für die Prozessentwicklung und Forschungsanwendungen macht. Die Basiskonfiguration besteht aus einer vollautomatischen CVD-Reaktanten-Förderanlage, einem 40 "Substrathalter, zwei Gaskästen zur Steuerung des Prozessflusses, einer Reaktionskammer und einem pneumatisch betriebenen vertikalen Lift. P5000 Mark I verfügt über ein neues integriertes Datenerfassungssystem zur fortschrittlichen Prozessüberwachung und -steuerung sowie eine breite Palette von Diagnosetools zur Fehlerbehebung und Prozessoptimierung. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I ist mit einer Gasfördereinheit ausgestattet, die die Steuerung mehrerer Gase ermöglicht. Die Abgabe der Prozessgase erfolgt über die beiden Gaskästen, die sequenziert werden können, um wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Die Gaskästen können bis zu 16 verschiedene Gase aufnehmen, die dann mit einem Massenstromregler durch die Reaktionskammer strömen. Die Reaktionskammer ist eine mit Edelstahl ausgekleidete zylindrische Kammer mit einem Durchmesser von 20 ". Es ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1000 ° C und Druck bis 10 Torr, mit einer 11 "-Waferkapazität. Die Reaktionskammer wird durch eine einzigartige Pulsspülmaschine gespült, die die Gleichmäßigkeit der Prozessgase maximiert. AMAT P5000 Mark I verfügt auch über einen vertikalen Auftrieb, der den Waferspiegel über die Reaktionskammer einstellt, um die Gleichmäßigkeit und Stabilität der Prozessparameter zu erhöhen. Es wird von einem pneumatischen Werkzeug angetrieben und kann für wiederholbare Ergebnisse automatisiert werden. Zusätzlich kann er mit einem optionalen HF-Generator für Prozesse ausgestattet werden, die HF-Energie benötigen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Mark I ist ein anspruchsvolles Werkzeug mit fortschrittlichen Technologien, die eine zuverlässige und präzise CVD-Verarbeitung ermöglichen. Es bietet eine effektive Lösung für Prozessentwicklung und Forschungsanwendungen, die die Herstellung hochwertiger Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Die integrierte Datenerfassung verbessert die Prozesskontrolle und die Diagnosetools unterstützen die Optimierung und Fehlerbehebung.