Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP #9200085 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP ist ein großflächiger Wolfram-MPCVD-Reaktor, der entworfen ist, um dünne Filmbeschichtungen auf einer Vielzahl von großen Substraten zu schaffen. Der Reaktor ist sowohl für den Einsatz in der Produktion als auch in der Forschung ausgelegt und kann Abscheidungstemperaturen bis zu 750C vorproduzieren. Der Substratdurchmesser kann von 2 Zoll bis 8 Zoll reichen und wird durch eine Waferspannvorrichtung gehalten. Die Vakuumkammer ist mit einem linearmotorisierten Übertragungsroboter sowie einem doppelten Hubstift ausgestattet, der die präzise Bewegung des beheizten Substrats ermöglicht. Das Gerät ist zudem mit mehreren Funktionen ausgestattet, die eine Prozesssteuerung und -überwachung ermöglichen. Eines dieser Merkmale ist eine eingebaute Monitor- und Steuerungsmaschine, die eine Rückmeldung der Prozesskammerbedingungen in Echtzeit liefert. Der integrierte Sechs-Kanal-Temperaturmonitor hilft dabei, temperaturbedingte Unregelmäßigkeiten zu erkennen und hilft Benutzern, die Kammertemperatur entsprechend anzupassen. Zusätzlich nutzt das Tool eine Sechs-Zonen-Duschkopf-Lieferung, die hilft, die Prozessgleichförmigkeit zu verbessern, indem sie den Druck und die Strömung der Prozessgase kontrolliert, die in das Modell gelangen. AMAT P5000 Mark II MxP Reaktor ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um strenge Sicherheitsanforderungen zu erfüllen. Dazu gehören ein automatischer Absperrmechanismus für Hochdrucksituationen, eine thermische Sicherung, die Überhitzung verhindert, und eine Ablaufkontrollanzeige für flüchtige Materialien. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über einen integrierten ausfallsicheren Mechanismus, der die Kammern bei Stromausfall oder anderen Störungen isoliert und evakuiert. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP eine fortschrittliche Abscheide- und Reaktionsplattform, die sich sowohl für Produktions- als auch für Forschungsanwendungen eignet. Die eingebauten Funktionen und Sicherheitsprotokolle vereinfachen die Bedienung und bieten Anwendern eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, Dünnschichtbeschichtungen auf einer Vielzahl großer Substrate herzustellen.
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