Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293586419 zu verkaufen

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ID: 293586419
Wafergröße: 6"
System, 6" (2) Chambers Oxide etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Varian Reaktor ist ein Plasmaätzreaktor, der speziell für die präzise Ätzbearbeitung verschiedener Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine Dünnschichtabscheidung und ist eines der modernsten Trockenätzsysteme auf dem Markt. Das System verwendet ein fortschrittliches elektrostatisches Spannfutter (ESC) auf Substratebene, das eine hervorragende Temperaturkontrolle und Gleichmäßigkeit in der Probenvereinzelung für ein gleichmäßigeres Ätzen bietet. Die Ionenstrahlquelle der Einheit besteht aus einem Dreiquellen-HF-Plasmagenerator mit einer T-förmigen Kathode. Das Plasma wird dann in einen symmetrischen gleichmäßigen Strahl fokussiert und auf die Substratoberfläche übertragen, auf der geätzt werden soll. Der Gesamtprozess wird durch eine Pulsmodulationsmaschine, die das Plasma innerhalb der Kammer modifiziert, weiter verbessert, wodurch eine genaue Anpassung der Ätzprozessparameter an das zu ätzende Material ermöglicht wird. AMAT P5000 Mark II verwendet einen Mikrowellen-Ringstrahlruder, um eine ungleichmäßige Plasmaverteilung in der gesamten Kammer zu erzeugen. Das Plasma wird dann über eine Elektronenzyklotronresonanz mit einem Elektronenstrahl auf die Probe übertragen. Dies ermöglicht die Steuerung der Probenhomogenität bei gleichzeitiger Optimierung des Ätzprozesses. Die Ionenstrahlquelle verwendet eine ELNA-Clip-Pistole, die eine hochauflösende Verarbeitung präziser Funktionen ermöglicht. Des Weiteren verfügt das Tool über ein Ätzgeschwindigkeits-Optimierungsprozess- und Datenmanagement-Softwarepaket, das eine Verarbeitung nach den gewünschten Parametern ermöglicht. APPLIKATIONSMATERIALIEN P 5000 MARK II ist ideal für diejenigen, die eine präzise Ätzung und Dünnschichtabscheidung in verschiedenen Materialien erfordern. Es ist weit verbreitet in der Luft- und Raumfahrt, Mikroelektronik, optischen Sensoren und anderen Industrien, die präzises Ätzen und Dünnschichtabscheidung erfordern. Darüber hinaus verfügt das Asset über umfangreiche benutzerfreundliche Steuerungen, die eine präzise und genaue Kontrolle des Ätzprozesses ermöglichen. Das Modell ist auch vollständig kompatibel mit Standard-Ätzprozessen und -Ausrüstung, was die Kosten und Zeit der Anlagenintegration erheblich reduziert. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II ist ein zuverlässiges und effizientes Ätzsystem, ideal für eine Vielzahl von Branchen, die präzise Ätzleistung erfordern.
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