Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293596273 zu verkaufen
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ID: 293596273
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Etcher, 6"
(2) Chambers
Gases: He, HCl, N2
NESLAB HX-150 Chiller
EBARA Pump
Indexers
Chuck type: Clamp
Standard frame type
Manual loader type
Automated cassette-to-cassette handling
Pumps
Controllers
Chillers
RF Matches
AC Power box
Generator rack
1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein fortschrittlicher Plasmaätz- und Abscheidungsreaktor, der sich ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie eignet. AMAT P5000 Mark II liefert fortschrittliche Prozesse mit hoher Leistung und Durchsatz, einschließlich der Möglichkeit der Stapelverarbeitung, die zur Senkung der Gesamtkosten beiträgt. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II ist eine vollautomatische, PC-gesteuerte Partikelätzanlage, die präzise, wiederholbare Prozesse liefern kann. Mit einer patentierten Selbstkalibriertechnologie sorgt APPLIED MATERIALS P5000 Mark II für eine exzellente Kontrolle der Prozessparameter und sorgt für konsistente Ergebnisse über die vielen Werkzeuge im Cluster. Zusätzlich kann der Roboter programmiert werden, um Wafer automatisch vom Eingang zum Ausgang des Systems mit einem 6-Achsen-Roboter auszutauschen. Die Prozesskammern des Reaktors sind aus Edelstahl gefertigt und für eine hohe Nutzung bei minimaler Wartung ausgelegt. AMAT P 5000 MARK II bietet chemischen Austausch in Kombination mit direktionalem Ätzen und zusätzlichen Ionenquellen, was das Potenzial von Anwendungen und Prozessen erhöht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten wie eine interne optische Maschine zur Überwachung der Prozessbedingungen und eine passive Kühlarchitektur für einen einheitlichen und wartungsfreien Betrieb. P5000 Mark II ist mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel, darunter Quarz, Si, GaAs und andere. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit hochpräzisen Wafer-Ausricht- und Positioniersystemen ausgestattet, die den Wafer in die optimale Position bringen, um einheitliche und konsistente Prozesse zu gewährleisten. P 5000 MARK II ist ideal für Anwendungen, die eine hervorragende Kontrolle des Plasmaätzprozesses und einheitliche Ergebnisse erfordern und eine hohe Genauigkeit und Qualität bieten. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II ist mit seiner Kombination aus automatisierten Systemen und anspruchsvoller Hardware ein fortschrittlicher Reaktor, der in vielen Branchen eingesetzt werden kann, die Präzisionsprozesse erfordern.
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