Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9086795 zu verkaufen

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ID: 9086795
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Poly Si Etcher, 8" (3) Chambers Clamp type Gas: SF6, Cl2, HBr, CF4, He, 02 Currently warehoused 1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein großflächiger, professioneller Reaktor, der bei der chemischen Abscheidung von dünnen Filmen und anderem Material verwendet wird. Es wird bei der Herstellung von Halbleitermaterialien und anderen integrierten Schaltungskomponenten verwendet. AMAT P5000 Mark II ist ein Stufen- und Wiederholgerät mit zwei unabhängigen Köpfen, die jeweils zwei Schlitze für bis zu 4 Prozesskammern enthalten. Jeder Schlitz kann bis zu 3 Kammern aufnehmen, um eine Vielzahl von Prozessen unterzubringen, einschließlich Dünnschichtabscheidung und Ätzen. Die Dual-Head-Architektur ermöglicht eine hohe Flexibilität bei der Konfiguration des Systems. Der Mark II verfügt über eine Ladeblockiereinheit mit einer maximalen Wafergröße von 12 Zoll. Es verfügt über eine automatische Transfermaschine, die Wafer zwischen Steckplätzen in einem einstufigen Prozess bewegen kann. Der modulare Aufbau des Werkzeugs ermöglicht eine einfache Aktualisierung und Neukonfiguration, wodurch der Benutzer mehr Flexibilität erhält. Der Mark II verfügt über eine Hochvakuum-Ladekammer, die mit nur wenigen Millitorr-Pumpen einen Prozessdruck von bis zu 10-3 Torr aufnimmt und somit ideal für anspruchsvolle Anwendungen wie die Atomschichtabscheidung geeignet ist. Die Anlage bietet auch ein Evakuierungs- und Entlüftungsmodell, um eine schnelle Kontrolle der Prozessatmosphäre zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 MARK II verwendet eine Gasplatte, die mehrere Gasquellen unterstützen kann. Das Gaspanel verfügt außerdem über einen integrierten Wärmetauscher zur Temperaturregelung, der eine Echtzeiteinstellung des Gasgemisches für eine optimale Prozesssteuerung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe fortschrittlicher elektrischer Durchführungen zur Konfiguration individueller Kammer-I/O und unabhängiger Netzteile für jede Leitung. Das System ist mit einer intuitiven Windows-basierten Steuereinheit ausgestattet, die eine einfache Konfiguration und Steuerung verschiedener Funktionen bietet. Darüber hinaus bietet die Mark II integrierte Rezepte, um die Prozessentwicklung und weitere Operationen zu optimieren. Im Hinblick auf die Sicherheit verfügt die Maschine über ein Sicherheitsverriegelungswerkzeug, um einen versehentlichen Betrieb und einen Notschalter zu verhindern. Darüber hinaus schützen die ESDS-Fähigkeiten der Anlage die Prozesskammer vor Bodenfehlern und bieten weiteren Schutz für alle Mitarbeiter in der Umgebung. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II ein hochentwickeltes und zuverlässiges Reaktormodell, ideal für die chemische Abscheidung von dünnen Filmen und anderen Materialien. Mit seiner Hochvakuum-Ladekammer, dem modularen Aufbau, der automatisierten Übertragungsausrüstung und den eingebauten Sicherheitsfunktionen bietet P 5000 MARK II den Anwendern eine verbesserte Kontrolle, Präzision und Flexibilität für ihre Dünnschichtabscheidungsanforderungen.
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