Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9097285 zu verkaufen
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ID: 9097285
Wafergröße: 8"
PECVD SiN system, 8"
(4) Chambers: PECVD SiN, lamp heated
Robot: Phase III
Robot blade assy: missing
TTW Config
Elevator: 15-slot
Egormica loader: optional
Phase 4 matches on each chamber
VME: 21-slot
Heat exchanger: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Reaktor ist eine Art Abscheidewerkzeug, das bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (IC) verwendet wird. Dieses Werkzeug ist für die Herstellung moderner Halbleitermaterialien unerlässlich. Es wird verwendet, um dünne Materialschichten auf ein Substrat aufzubringen, wodurch eine komplexe Strukturierung ermöglicht wird, die zur Erzeugung winziger Transistoren und Leiterbahnen erforderlich ist. Damit ist sie ein wesentlicher Bestandteil des Herstellungsprozesses für IC-Chips. AMAT P5000 Mark II basiert auf der P5000 Werkzeugplattform und bietet erweiterte Prozessfähigkeit für anspruchsvolle Anwendungen. Es hat eine Breite von 64 Zoll und eine Breite von 76 Zoll. Die Basis kann bis zu vier Arbeitszellen unterstützen, so dass mehrere Prozesse gleichzeitig durchgeführt werden können. Jede der Zellen ist mit einem 50 Zentimeter mal 30 Zentimeter großen Quarz-Liner ausgestattet, der Temperaturen bis 1000 ° C und Drücken bis 5 Torr standhält. Die Zellen sind einstellbar und können an verschiedene Quellen wie Verdampfung, Sputtern oder Ionendopingquellen angeschlossen werden. Darüber hinaus verfügt das System über eine breite Palette von Sensoren wie Druck- und Temperaturerfassung sowie einen integrierten Betrachtungsbereich. Dadurch kann der Anwender Prozessparameter genau überwachen, um die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus nutzt APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II eine offene Kommunikationsarchitektur, die eine Integration in eine breite Palette von Automatisierungssystemen ermöglicht. ANWENDUNGSMATERIALIEN P5000 Mark II hat auch alternative Konfigurationen zur Verfügung, wie die P5000EO Version, die Kohlendioxid-Laser für die Laserablationsbearbeitung ermöglicht ist. Darüber hinaus verfügt die P5000TI Version über die Fähigkeit, angepasste Paartiegel für die zusätzliche Temperaturregelung zu verwenden, sowie eine Aluminiumauskleidung der Flugzeugklasse für eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit. All diese Eigenschaften machen P5000 Mark II zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für die fortschrittliche IC-Herstellung.
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