Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9114965 zu verkaufen

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ID: 9114965
Wafergröße: 8"
CVD Nitride dielectric etcher, 8" 3-Chamber (2) 5000 CVD chamber with CVD delta teos gas box, Gold precision 5000 lamp (1) 5000/5200 CVD chamber with 5000 CVD lamp ENI OEM-12B3 RF Generator ENI OEM-12B RF Generator (3) RFPP LF-5 RF Generator (3) Astech ATL-100RA Matching network Heat exchanger.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein hochmoderner Reaktor zur epitaktischen Abscheidung, Diffusion und Seitenwandbearbeitung von integrierten Schaltungen. Es eignet sich ideal für die Herstellung von komplexen integrierten Schaltungen mit hohem Volumen. Es kann mit einer Vielzahl von Quellentypen arbeiten, einschließlich molekularer Strahllinienquellen, mit einer breiten Palette von Gasen und anderen Eingangsmaterialien; ermöglicht eine präzise Kontrolle der Struktur und Zusammensetzung der resultierenden Epi-Schicht. Die Kammer von AMAT P5000 Mark II ist so konzipiert, dass sie eine präzise Temperaturregelung ermöglicht; mit einem variablen Bereich von 100 - 1000 ° C gibt die Kammer dem Anwender eine präzise Kontrolle über das thermische Profil des Prozesses. Es verfügt auch über eine Turbopumpe mit hoher Kapazität, um eine hervorragende Gasregelung und niedrigere Basisdrücke zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der im Betrieb erzielten Massenflussraten sowie eine höhere Produktivität für alle Prozesse. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II nutzt erweiterte Computersteuerungsfunktionen über eine Standard-VME-Schnittstelle. Dieser anspruchsvolle Computercontroller ermöglicht eine einfache Replikation der Prozessbedingungen und eine genaue Manipulation der verwendeten Zeitpunkte und Sequenzen. Das System ist auch mit digitalen Pyrometern und Thermoelement-Rückkopplungsgeräten ausgestattet, die eine präzise Temperaturregelung der Verdampfungsraten von Ausgangsmaterialien ermöglichen. P 5000 MARK II verfügt über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich einer korrosionsbeständigen Edelstahlkammer, einer niedrigen Gasleckrate zum Schutz vor Feuer und Explosion und einer verstärkten PECVD-Glocke (plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung) für eine verbesserte Partikeleindämmung. Darüber hinaus enthält APPLIED MATERIALS P5000 Mark II einen Ionizer zur Minimierung von Partikelverunreinigungen, ein hermetisch abgedichtetes Vakuumsystem zur optimalen Prozesssteuerung und automatische Überdruckventile zum zusätzlichen Schutz von Personal und Ausrüstung. P5000 Mark II ist das ideale Werkzeug für die Produktion von hochentwickelten und spezialisierten integrierten Schaltungsstrukturen. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II ist mit seinem breiten Leistungsspektrum und seiner Leistungsfähigkeit eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen bestmögliche Ergebnisse verlangen.
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