Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein Halbleiterverarbeitungsreaktor für die 200mm-Waferherstellung. Es verwendet eine Infrarot-Heizgeräte, die schnelle thermische Zyklen bei hohen Temperaturen für eine Vielzahl von Prozessen ermöglicht, einschließlich Glühen, Oxidation und Abscheidung. Die Kammer ist mit zwei geteilten Zonen und Kammern ausgebildet, die eine unabhängige Temperaturregelung in beiden Zonen ermöglichen. Der modulare Aufbau bietet Kontinuität von einem Prozess zum nächsten und ermöglicht eine einfache Integration und Prozessoptimierung. Die Mark II hat auch die Möglichkeit einer hohen Seitenverhältnis Ätzkammer. Der Mark II nutzt die Kammerdruckregelung mit einem Gesamtsystemdruck und einer Temperaturregelung von 1000-5000 Torr. Die Prozesschemie wird durch Dual-Plasma-Quelle, In-situ-Abgasplasma und Gaschemie-Management geliefert. Der Controller verfügt über ein integriertes Diagnosesystem, um höchste Qualität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. Der Mark II enthält eine Vielzahl von Hardware- und Software-Fortschritten, einschließlich des HF-Generators für Mehrfrequenzsteuerung, Auto Tune für Temperatur und Druckstabilität, intelligenter Leiter für Temperaturdriftkompensation und intelligente Elektrode für bessere RF-Effizienz. Dadurch kann der Mark II höhere Ausbeuten, engere Prozesstoleranzen und eine verbesserte thermische Gleichmäßigkeit erzielen. Die im Lieferumfang von Mark II enthaltene Software bietet auch erweiterte Funktionen wie Prozessarbeitsablaufüberwachung, Rezeptplanung und Parameteroptimierung. Schließlich verfügt der Mark II über einen integrierten dreiachsigen Roboter, der ein einfaches Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. AMAT hat den Mark II als wirtschaftliche und effiziente Option für die 200mm-Wafer-Fertigung konzipiert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung ist AMAT P5000 Mark II eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung.