Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9213668 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Reaktor ist eine plasmaverbesserte chemische Aufdampfanlage, die für Abscheidungsanwendungen optimiert ist, die hochwertige Filme erfordern. AMAT P5000 Mark II ist mit zwei Kammern ausgestattet und bietet zwei Prozessoptionen: IDPECVD (Ionized Deposition Process) und MPPECVD (Multi Plauna Power Enhanced Chemical Vapor Deposition). IDPECVD ist ein Abscheidungsprozess, der durch den energetischen Beschuss eines Vorläufergases innerhalb der Abscheidekammer durch einen Elektronenstrahl bei relativ hohen Leistungsdichten ausgelöst wird. MPPECVD ist ein nicht-energetischer Abscheidungsprozess, der verwendet wird, um Filme bei geringeren Leistungsdichten mit größerer Gleichmäßigkeit herzustellen. Beide Verfahren sind der Schlüssel zur Herstellung von Folien mit überlegener Qualität, Haftung und Gleichmäßigkeit. ANGEWANDTER WERKSTOFF P 5000 MARK II Reaktor ist mit einem Top-Belademechanismus ausgelegt, der den Zugriff auf die Abscheidekammer zum Be- und Entladen von Wafern erleichtert. Die Top-Ladesubstratgestelle ermöglichen es dem Anwender, 600mm Wafer mit hohen Durchsatzraten zu laden. APPLIKATIONSMATERIALIEN P5000 MARK II-Reaktor enthält auch Hochleistungs-Pitch-Catch-Manipulatoren für qualitativ hochwertige Messtechnik und Gaszufuhrsysteme zur präzisen On-the-Fly-Reaktionskontrolle. Um die Leistung des AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II Reaktors zu verbessern, verfügt das System auch über eine Reihe fortschrittlicher Mess- und Kontrollfunktionen. Dazu gehören Vier-PunktRF-Einheit, die unabhängige Frequenzlenkung und Anpassung, on-the-fly Leistungsregelung und Rückkopplung Kontrolle der Foliendicke über Infrarotmessung. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, Filmdicke, optische Eigenschaften und elektrische Eigenschaften mit Submikron-Genauigkeit zu messen. Um die Sicherheit und Prozesskontrolle zu gewährleisten, enthält der AMAT P 5000 MARK II Reaktor mehrere Sicherheitsmerkmale wie ein Übertemperaturschutzwerkzeug, ein Überdruckschutzgerät und einen automatisierten Druckregler. Der automatisierte Druckregler steuert genau den Reaktionsdruck in der Kammer, um eine sichere und genaue Leistung in jedem Prozess zu gewährleisten. P5000 Mark II Reaktor ist ein fortschrittliches Abscheidungsmodell, das entwickelt wurde, um hochwertige Folien mit überlegener Gleichmäßigkeit, Haftung und optischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen herzustellen. Dieser prozessspezifische Reaktor ist mit wichtigen Sicherheitsmerkmalen und fortschrittlichen Messtechnik, Mess- und Kontrollsystemen für zuverlässige und wiederholbare Leistung ausgestattet.