Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9288010 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9288010
Wafergröße: 6"-8"
CVD System, 6"-8"
Mainframe
(2) UNIVERSAL TEOS or nitrtide chambers
8 Slot storage elevator
Remote frame
Vacuum pumps.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein fortschrittliches Plasmaätzwerkzeug zur Herstellung präziser Schaltungen, Displays und anderer Mikrokomponenten. Mit Blick auf Präzision und Flexibilität ist AMAT P5000 Mark II in der Lage, extrem komplexe Formen, Muster und Sequenzen mit hohen Erträgen und zuverlässiger Qualität zu fertigen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 MARK II wird auf der bewährten Plattform des P5000 gebaut. Es ist ein einzelnes Wafer-Gerät, das 150mm oder 200mm Wafer mit einem maximalen Formfaktor von 8 „x 8“ aufnimmt. Es verfügt über eine fortschrittliche Prozesskammerdesign, die hohe thermische Gleichmäßigkeit für einheitliche Ätzprofile bietet. Die Kammer verfügt über eine Dual-Source-Quartzgas-Injektorausrüstung, die eine überlegene Prozesssteuerung für unterschiedliche Ätzanforderungen ermöglicht. Das System verfügt außerdem über eine keramische Auskleidung für verbesserte Haftung und zuverlässige Chemie-Lieferung. Angetrieben wird der Ätzprozess von der E-Flex Steuerung, einem leistungsstarken benutzerfreundlichen Softwarepaket, das eine präzise Kontrolle der Kalibrierung, Ätzraten, Temperatur, Gasförderung und Prozessparameter ermöglicht. Die E-Flex Steuerungsmaschine bietet dem Bediener Echtzeit-Feedback aller Prozessvariablen, die eine präzise Abstimmung des Prozesses ermöglichen, um maximale Erträge und höchste Produktqualität zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II arbeitet bei hohen Ionenstromdichten, bis 350A/cm2 mit einem wiederholbaren Prozessbereich zwischen 500-5000W. Dies gewährleistet eine hohe Durchdringung für tiefe Ätzprofile mit schnellen Prozesszeiten. Es bietet auch Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche mit bis zu 10 Mikron Tiefenauflösung und wiederholbaren Oxidätzzyklen über 1 mm Tiefe. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Mark II-Werkzeug ist mit Sicherheitsmerkmalen wie einer Wafer-Sonde, einem automatisierten Sperrwerkzeug und einem Druckmonitor ausgestattet. Zusammen sorgen sie für einen ununterbrochenen und sicheren Betrieb mit minimalem Verletzungsrisiko. Es verfügt über mehrere zusätzliche Funktionen, wie eine 200-400Kg Lastsperre, Temperaturüberwachungen und integrierte Tracking-Komponenten, die eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Gleichmäßigkeit ermöglichen. Es ist auch mit mehreren industriellen Regulierungsstandards, wie NRTL/C, CE und UL zertifiziert. Insgesamt ist P 5000 MARK II ein hocheffizientes und präzises Werkzeug, das hochkomplexe Strukturen und Komponenten mit großer Zuverlässigkeit und Genauigkeit herstellen kann. Es ist eines der fortschrittlichsten Ätzsysteme auf dem Markt, perfekt für Schaltungsherstellung und Mikrochip-Montage.
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