Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9313058 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9313058
Wafergröße: 8"
CVD System, 8"
Gas panel facilities: Top feed multi-line
Gas panel exhaust: Top feed
Robot blade: Metal
Wafer type: Notch
Gas panel type: Version 4 hot box
Liquid source: Hot box
(3) TEOS Sources: Heated ampoule
EMO's: Momentary
Gas lines: (12) Lines
Robot type: Standard
System umbilicals: 25ft
MF Facilities: Rear
Mainframe: Phase II
Load lock slit valves: Chemrez
Heat exchanger 1: AMAT 0
VME Rack: Extended 21-slots
Hard Disk Drive (HDD): 4.5 GB
Chamber A:
Type: CVD Universal
Process A: BPSG TEOS
Lid type: Single gas feed-thru
Susceptor / Pedestal: TEOS
Heater / Cathode cooling: AMAT 0
Process kit type: Undoped TEPO
Slit valve O-ring: Chemraz
Chamber O-rings: Chemraz
HF Generator: OEM 12 B
RF Match: Phase 4 CVD
Dual manometer:
Manometer 1: 10 Torr
Manometer 2: 100 Torr
Chamber A gasses:
Gas / MFC Size / Gas name / MFC Type
Gas 1 / 4 Slm / N2 / UNIT 1661
Gas 2 / 2 Slm / O2 / UNIT 1661
Gas 3 / 3 Slm / C2F6 / UNIT 1661
Gas 4 / 1.5 Slm / He / UNIT 1661
Remote 1:
LFC Size / Liquid name / LFC Type / Gas stick
3 Slm / TEOS / UNIT 9660 / Nupro
Chamber B:
Type: CVD Universal
Chamber process: PRSP
Lid type: Single gas feed thru
Susceptor / Pedestal: TEOS
Heater / Cathode cooling: Steel head 0
Slit valve O-ring: Chemraz
Chamber O-rings: Chemraz
HF Generator: OEM 12 B
RF Match: Phase 4 CVD
Process kit type undoped TEOS
Dual manometer:
Manometer 1: 10 Torr
Manometer 2: 20 Torr
Chamber B gasses:
Gas / MFC Size / Gas name / MFC Type
Gas 1 / 5 Slm / N2 / UNIT 1661
Gas 2 / 3 Slm / O2 / UNIT 1661
Gas 3 / 2 Slm / C2F6 / UNIT 1661
Gas 4 / 1.5 Slm / He / UNIT 1661
Remote 1:
LFC Size / Liquid name / LFC Type / Gas stick
3 Slm / TEOS / UNIT 9660 / Nupro
Missing parts:
Mini SBC board
SBC Board
A/I
(3) DI/O
Hot box components
Gas box gas interface PCB
Power supply: 208 VAC. 400 Amp, 50 Hz Transformer.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein modernster technologiebasierter Verarbeitungsreaktor für verschiedene Ätz-, Dünnschicht- und Wärmebehandlungsprozesse. Es hat ein Kammervolumen von bis zu 5 Litern und eine maximale Betriebstemperatur von 950 Grad Celsius. AMAT P5000 Mark II ist mit einer robusten Edelstahlarchitektur konstruiert und verfügt über ein hermetisches Design mit einem flachen Oberteil, das eine langfristige Wärmeübertragungseffizienz ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über integrierte Temperaturregelung, Teilelagerung und automatisierte Reinigungsfunktionen, die eine Serienfertigung ermöglichen. Die programmierbare Zyklusregelung ermöglicht es dem Bediener auch, Parameter leicht zu ändern, um Prozessbedingungen für maximale Effizienz zu optimieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 MARK II kann angepasst werden, um verschiedene Arten von Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen für seine verschiedenen Prozesse unterzubringen. Es kann für die chemische Dampfabscheidung (CVD), die physikalische Dampfabscheidung (PVD), das photoähnliche chemische Ätzen und das gerichtete Ätzen sowie für die Wärmebehandlung verwendet werden. Die Temperatur von APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist auch von Raumtemperatur auf 950 Grad Celsius in Abständen von 10 Grad einstellbar, so dass die Prozesskonsistenz über Chargen. Es ist auch mit einer eingebauten Sicherheitsvorrichtung ausgestattet, um gefährliche Ereignisse wie Gasaufbau oder Leckagen zu verhindern. Darüber hinaus kann P 5000 MARK II mit AMAT-proprietären Prozessgasen kombiniert werden, um die Produktleistung zu maximieren und die Zuverlässigkeit des Systems zu erhöhen. Dieser Reaktor verfügt zudem über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche, mit der der Bediener schnell und einfach auf die Bedienelemente zugreifen kann. Für zusätzliche Sicherheit und Prozesskontrolle verfügt P5000 Mark II über eine integrierte Datenprotokollierungsfunktion, die Betriebsparameter verfolgt, eine Ferndiagnose ermöglicht und Alarme aussendet, wenn Parameter außerhalb vorgegebener Grenzen liegen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist AMAT P 5000 MARK II eine ausgezeichnete Wahl für Luft- und Raumfahrt, Automobil, Medizinprodukte und fortschrittliche industrielle Anwendungen.
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