Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9313058 zu verkaufen

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ID: 9313058
Wafergröße: 8"
CVD System, 8" Gas panel facilities: Top feed multi-line Gas panel exhaust: Top feed Robot blade: Metal Wafer type: Notch Gas panel type: Version 4 hot box Liquid source: Hot box (3) TEOS Sources: Heated ampoule EMO's: Momentary Gas lines: (12) Lines Robot type: Standard System umbilicals: 25ft MF Facilities: Rear Mainframe: Phase II Load lock slit valves: Chemrez Heat exchanger 1: AMAT 0 VME Rack: Extended 21-slots Hard Disk Drive (HDD): 4.5 GB Chamber A: Type: CVD Universal Process A: BPSG TEOS Lid type: Single gas feed-thru Susceptor / Pedestal: TEOS Heater / Cathode cooling: AMAT 0 Process kit type: Undoped TEPO Slit valve O-ring: Chemraz Chamber O-rings: Chemraz HF Generator: OEM 12 B RF Match: Phase 4 CVD Dual manometer: Manometer 1: 10 Torr Manometer 2: 100 Torr Chamber A gasses: Gas / MFC Size / Gas name / MFC Type Gas 1 / 4 Slm / N2 / UNIT 1661 Gas 2 / 2 Slm / O2 / UNIT 1661 Gas 3 / 3 Slm / C2F6 / UNIT 1661 Gas 4 / 1.5 Slm / He / UNIT 1661 Remote 1: LFC Size / Liquid name / LFC Type / Gas stick 3 Slm / TEOS / UNIT 9660 / Nupro Chamber B: Type: CVD Universal Chamber process: PRSP Lid type: Single gas feed thru Susceptor / Pedestal: TEOS Heater / Cathode cooling: Steel head 0 Slit valve O-ring: Chemraz Chamber O-rings: Chemraz HF Generator: OEM 12 B RF Match: Phase 4 CVD Process kit type undoped TEOS Dual manometer: Manometer 1: 10 Torr Manometer 2: 20 Torr Chamber B gasses: Gas / MFC Size / Gas name / MFC Type Gas 1 / 5 Slm / N2 / UNIT 1661 Gas 2 / 3 Slm / O2 / UNIT 1661 Gas 3 / 2 Slm / C2F6 / UNIT 1661 Gas 4 / 1.5 Slm / He / UNIT 1661 Remote 1: LFC Size / Liquid name / LFC Type / Gas stick 3 Slm / TEOS / UNIT 9660 / Nupro Missing parts: Mini SBC board SBC Board A/I (3) DI/O Hot box components Gas box gas interface PCB Power supply: 208 VAC. 400 Amp, 50 Hz Transformer.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist ein modernster technologiebasierter Verarbeitungsreaktor für verschiedene Ätz-, Dünnschicht- und Wärmebehandlungsprozesse. Es hat ein Kammervolumen von bis zu 5 Litern und eine maximale Betriebstemperatur von 950 Grad Celsius. AMAT P5000 Mark II ist mit einer robusten Edelstahlarchitektur konstruiert und verfügt über ein hermetisches Design mit einem flachen Oberteil, das eine langfristige Wärmeübertragungseffizienz ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über integrierte Temperaturregelung, Teilelagerung und automatisierte Reinigungsfunktionen, die eine Serienfertigung ermöglichen. Die programmierbare Zyklusregelung ermöglicht es dem Bediener auch, Parameter leicht zu ändern, um Prozessbedingungen für maximale Effizienz zu optimieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 MARK II kann angepasst werden, um verschiedene Arten von Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen für seine verschiedenen Prozesse unterzubringen. Es kann für die chemische Dampfabscheidung (CVD), die physikalische Dampfabscheidung (PVD), das photoähnliche chemische Ätzen und das gerichtete Ätzen sowie für die Wärmebehandlung verwendet werden. Die Temperatur von APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist auch von Raumtemperatur auf 950 Grad Celsius in Abständen von 10 Grad einstellbar, so dass die Prozesskonsistenz über Chargen. Es ist auch mit einer eingebauten Sicherheitsvorrichtung ausgestattet, um gefährliche Ereignisse wie Gasaufbau oder Leckagen zu verhindern. Darüber hinaus kann P 5000 MARK II mit AMAT-proprietären Prozessgasen kombiniert werden, um die Produktleistung zu maximieren und die Zuverlässigkeit des Systems zu erhöhen. Dieser Reaktor verfügt zudem über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche, mit der der Bediener schnell und einfach auf die Bedienelemente zugreifen kann. Für zusätzliche Sicherheit und Prozesskontrolle verfügt P5000 Mark II über eine integrierte Datenprotokollierungsfunktion, die Betriebsparameter verfolgt, eine Ferndiagnose ermöglicht und Alarme aussendet, wenn Parameter außerhalb vorgegebener Grenzen liegen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist AMAT P 5000 MARK II eine ausgezeichnete Wahl für Luft- und Raumfahrt, Automobil, Medizinprodukte und fortschrittliche industrielle Anwendungen.
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