Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9389403 zu verkaufen
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ID: 9389403
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Cassette indexer, 6" Clamp
8-Slots elevator
(2) CRT Monitors
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
Electrical controller
Nupro bellows valve
EMO Option: Turn to release
EMO Button guard rings
(4) ENI OEM-12A RF Generators
HX Seperate mani fold
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green, blue
Signal cable: 25"
Flash Hard Disk Drive (HDD)
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Mini-controller
Electrical controller:
(2) TC Gauge boards
Power rack, 12 VDC; (2) 15 VDC
Buffer I/O board
(2) Opto I/O boards
(4) Chopper driver power racks
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-07
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(4) Matchers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: SEC 4400MC
Manual valve: Fujikin
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
(4) Pumping plates
(4) Ceramic focus rings
(4) Shower heads
(4) Blocker plates
(4) Heater windows
(4) Bellows susceptors
(4) Bellows wafer lifts
VME Controller:
1 / SBC Board
2 / SV21 SBC Board
3 / SEI Board
6 / VGA
7 / AO-1
8 / AI-1
9-12 / Stepper control board
13-16 / Digital I/O board
17 / -
19-20 / -
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II Reaktor ist ein High-Tech, hocheffiziente Produktionswerkzeug für eine Reihe von Halbleiterherstellung und fertigungsbezogene Prozesse. Mit Ultrahochvakuum (UHV) -Glühtechnologie und einer leistungsstarken 5-Achsen-Bewegungssteuerung ist der AMAT P5000 Mark II-Reaktor darauf ausgelegt, präzise und wiederholbare Prozessergebnisse zu erzielen und dabei in einer Vielzahl von Produktionsatmosphären zu arbeiten. Angewandte Materialien P 5000 MARK II Reaktor ist ein fünf Zone, in-line UHV Glühsystem, jede Zone unabhängig geregelt und optimiert, um eine optimale Reaktorleistung zu ermöglichen. Alle drei Thermalzonen werden gleichzeitig temperaturkontrolliert und haben Verwendenplasmachemie des Heliums/Sauerstoffes/Wasserstoffs gereinigt. Darüber hinaus schafft die UHV-Umgebung eine inerte Umgebung frei von molekularen Spezies, die Ungleichmäßigkeiten in die Ergebnisse einführen kann. P 5000 MARK II Reaktor ist entworfen, um die höchste Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der Prozessergebnisse zu erreichen. Die 5-Achsen-Bewegungssteuerung passt die Verarbeitungsparameter automatisch an, während die Steueralgorithmen konsistente und stark wiederholbare Verarbeitungsergebnisse liefern. Der AMAT P 5000 MARK II Reaktor nutzt eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, um das thermische Budget zu reduzieren und gleichzeitig sicherzustellen, dass die Prozessergebnisse wiederholbar und einheitlich sind. Spezialmerkmale wie die Kammerbearbeitung, eine automatisierte Gasfördermaschine, eine inerte Atmosphäre und eine integrierte induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) ermöglichen eine optimale Kammerleistung. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II große 4,7 Liter Prozesskammer und Quarzglasrohr Design sorgen für einen effizienten Transport von Prozessmaterialien. Die Kammer ist zur Maximierung der Prozessgleichförmigkeit ausgebildet, wobei die reflektierenden Wände eine gleichmäßige Abdeckung der Kammer sowohl für thermische Glüh- als auch Plasmaprozesse ermöglichen. Mit der Edelstahlkonstruktion bietet die Kammer eine robuste und langlebige Struktur mit Temperatur- und Thermoschockeigenschaften, die für längere Prozesszeiten geeignet sind. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II ist eine automatisierte Prozesslösung mit einer automatisierten Rezeptentwicklungsbibliothek, einem integrierten Monitor- und Kontrollwerkzeug und einem erweiterten Kontrollinstrument. Die intuitive Software bietet Benutzern die Möglichkeit, Rezepte schnell und einfach zu erstellen, zu ändern und herunterzuladen. Das integrierte Überwachungs- und Steuerungsmodell bietet dem Anwender eine Echtzeit-Prozessüberwachung, sodass der Anwender bei Bedarf genaue Korrekturen an seinem Prozess vornehmen kann. P5000 Mark II Reaktor ist ein leistungsfähiges, präzises und zuverlässiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Prozessen geeignet ist. Seine präzise Temperatur- und Bewegungssteuerung, intuitive Software und robuste Konstruktion machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsumgebungen.
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