Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #293607187 zu verkaufen

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ID: 293607187
Weinlese: 1996
Oxide etcher (3) MxP Chambers 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist ein fortschrittlicher Reaktor, der für Anwendungen zur Verarbeitung von Hochdurchsatzmaterialien entwickelt wurde. AMAT P5000 MxP-Reaktor ist in der Lage, mehrere simultane Prozesse durchzuführen, einschließlich Ätzen, Abscheiden und schnelle thermische Verarbeitung. Mit diesem Reaktor können mehrschichtige Halbleiterbauelemente erzeugt oder bestehende weniger effiziente Fertigungsprozesse ersetzt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 MxP ist eine Metall-, Metalldichtungs- und Einscheibenbearbeitungskammer. Es verfügt über eine fortschrittliche konforme Schildausrüstung und ist für die Handhabung großer Substratgrößen ausgelegt. Der modulare Aufbau erleichtert die Integration P5000 MxP in bestehende Fertigungslinien. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP-Reaktor sorgt für eine gleichmäßige Prozesskammertemperatur und -verteilung auch bei großen Substratgrößen. Darüber hinaus verfügt AMAT P5000 MxP über eine vollautomatische Warmwandtemperaturregelung zur weiteren Verbesserung der Temperaturgleichförmigkeit in der Prozesskammer. APPLIED MATERIALS P5000 MxP bietet mehrere erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen. Dazu gehören Echtzeit-Prozessüberwachung und Datenprotokollierung mit automatisierten Berichts- und Dokumentenmanagementsystemen. Dies gewährleistet eine effiziente Prozesswiederholbarkeit und reduziert die Abhängigkeit von manuellen Prozessen. P5000 MxP schließt auch eine fortgeschrittene Mehrschnauzenelektronbalkenquellliefereinheit ein. Dies ermöglicht eine vorprogrammierbare, automatisierte Steuerung der kapazitiv gekoppelten Plasmaquelle ohne Eingriff des Bedieners. Diese Maschine steuert die Plasmaquellenleistung genau und ermöglicht eine hohe Durchsatzleistung und eine hohe Ausbeute. Das automatisierte Wafer Handling und RobotArm Werkzeugaustauschwerkzeug ermöglichen es, mehrere Substrate gleichzeitig in AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reaktor zu laden und während der Bearbeitungsläufe auszutauschen. Dies reduziert die Prozesszeit und damit die Kosten für die Produkterstellung. Darüber hinaus ermöglicht es eine einheitliche Produktausgabe und eine schnellere Durchlaufzeit für die Produktgestaltung. Insgesamt ist der AMAT P5000 MxP-Reaktor eine Einwafer-Bearbeitungskammer mit fortschrittlicher Abschirmung, Prozesskontrolle und automatisierter Wafer-Handhabung. Dieser Reaktor ist hochdurchsatzfähig, großflächig herstellbar und so konzipiert, dass er in eine bestehende Fertigungslinie integriert werden kann.
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