Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042 zu verkaufen
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ID: 293615042
Poly etcher
(2) MxP Chambers
ESC Chuck
Endpoint
Gate valve
Throttle valve
EDWARDS C301 Turbo pump
AMAT-0 Heat exchanger
OEM-12B RF Generator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + ist ein Mehrkammerreaktorsystem, das eine gepulste Dauerlast (PCL), ein Flash Lamp Anneal (FLA) und einen 3D-Scanning-Prozess zur Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte verwendet. Es bietet auch einfachen Zugriff auf Verarbeitungsparameter und unterstützt mehrere parallele Prozessschritte. AMAT P5000 MxP + verfügt über eine 42 cm x 24 cm PCL, die eine schnelle Be- und Entladung von Substraten sowohl für Hochtemperatur- als auch für Ultraclean-Prozesse ermöglicht. Es verwendet einen eingebauten Ladeanschluss und bordeigene Mikroregler für eine präzise Prozesssteuerung, die eine enge Kontrolle von Sauerstoff und Feuchtigkeit während der Substratbehandlung ermöglicht. Die Flash Lamp Anneal (FLA) verwendet einen ultrakurzen Impuls der Lichtenergie, um Hochenergieglühen zu liefern, ohne dass das Substrat extern erwärmt werden muss. Dieses Verfahren ermöglicht eine enge Toleranz kritischer Prozessparameter wie Temperatur, Glühzeit und Energieausbreitung unter Beibehaltung einer guten selbstjustierten Steuerung. Das 3D-Scanverfahren ermöglicht eine hochauflösende zweidimensionale Abbildung der Substratoberfläche. Es ist in der Lage, eine genaue 3D-Oberflächenmapping mit einer Fast-Infrarot-Kamera, die hilft, schnell Fehler zu identifizieren, Konturen zu analysieren und Funktionen zu messen. Dies ermöglicht eine effizientere Prozessentwicklung und Substratcharakterisierung. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 MxP + ist mit Software ausgestattet, die elektronische Rezeptübertragung, Ofensteuerung, Kammerüberwachung, Produktionsverfolgung und Datenerfassung unterstützt. Dies ermöglicht die Prozessautomatisierung und Echtzeitsteuerung der kritischen Prozessparameter. Darüber hinaus bietet das digitale Touchscreen-System einen einfachen Zugriff auf Prozessparameter mit einstufigen Operationen. Dies gewährleistet eine schnelle, genaue und präzise Verarbeitung. P5000 MxP + ist ein fortschrittliches Mehrkammerreaktorsystem, das eine präzise Steuerung in der fortschrittlichen Geräteherstellung ermöglicht. Mit der Flash-Lampe Anneal-Technologie, dem 3D-Scanprozess und der benutzerfreundlichen Software ist es sowohl für den Einsatz in der Forschung als auch in der Industrie geeignet.
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