Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9017018 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9017018
Cluster tool, 8"
(2) Chambers
(8) Storage units
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MxP / Oxide etch
Position B: MxP / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Gas Panel Pallet:
(5) Insert gas lines per chamber
MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-4400
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Chamber B:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Mainframe:
Loadlock type: 8-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak detector
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLABE HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist ein Reaktor, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ausgelegt ist. Das Werkzeug ist ein epitaktisches Abscheidungswerkzeug, das sehr vielseitig einsetzbar ist und die Abscheidung von Dünnschichten bei hohen Substrattemperaturen ermöglicht. Das Tool ist in der Lage, Ablagerungen mit mehreren Quellen mit proprietären Multi-Zone-Technologie, die die Gleichmäßigkeit zu schaffen bessere Wafer Erträge verbessert. Die hochmoderne Quelltechnologie reduziert Leistungs- und Temperaturschwankungen und sorgt für eine bessere Folienqualität und Wiederholbarkeit. Die überlegene Flexibilität des Werkzeugs ermöglicht es Anwendern, sich über eine breite Palette von Materialien abzulegen, einschließlich Oxiden, Nitriden, Metallen und Kombinationen davon. Darüber hinaus ermöglicht das Werkzeug eine Reihe von Schichtdicken, von Sub-Monoschicht bis zu mehreren hundert Nanometern. Die Möglichkeit, Parameter wie Temperatur, Druckfluss und Leistung zu manipulieren, ermöglicht es Benutzern, ihren Abscheidungsprozess nach Maß vorzunehmen. AMAT P5000 MxP ist mit einer proprietären Ultrahochvakuumausrüstung ausgestattet, die Partikel und Verunreinigungen im System reduziert und die Produktivität erhöht. Das fortschrittliche Sichtlinienabscheidungsverfahren bietet eine bessere Qualität als herkömmliche Abscheidungssysteme, indem eine vollständig abgedichtete Kammer geschaffen wird und auf Laser im Inneren reagiert wird. Dies hilft, Kontrolle, Stabilität und Wiederholbarkeit zu verbessern. Das Tool verfügt auch über fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, mit der Benutzer ihre Prozesse für Geschwindigkeit und Effizienz optimieren können. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 MxP bietet zudem eine robuste Geräteüberwachung und -diagnose, um die Zuverlässigkeit zu erhöhen und die Leistung vorherzusagen. Mit fortschrittlichen Überwachungsfunktionen kann das Tool Probleme erkennen, die durch Abscheideparameter, Atmosphärendruck oder andere anormale Bedingungen entstehen können, sodass Bediener sie schnell angehen können. Insgesamt ist P5000 MxP ein zuverlässiges, leistungsstarkes Abscheidewerkzeug, das es Anwendern ermöglicht, die hohen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung zu erfüllen. Dieses Tool bietet überlegene Flexibilität, verbesserte Qualität und Zuverlässigkeit, erhöhten Ertrag und erweiterte Prozesskontrolle. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist mit seiner fortschrittlichen Multi-Zone-Technologie und Ultrahochvakuum-Maschine die perfekte Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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