Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9017018 zu verkaufen

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ID: 9017018
Cluster tool, 8" (2) Chambers (8) Storage units General Information: Cass nest: Plastic 8" Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat) No SMIF Interface System Information: Software version: B4.70 Has SECS / GEM Chamber Location / Type / Current Process: Position A: MxP / Oxide etch Position B: MxP / Oxide etch Etch chamber: Chamber type: MxP Wafer clamp: Polyimide ESC Has BS He Cooling Has He dump line Turbo pump: SEIKO STP-301CVB Endpoint type: Stand alone Monochrometer qty: Each per chamber Generator model: ENI OEM-12B3 Max Power: 1250 w Lid temp control: PID control Gate valve: Heated gate valve Matcher: SMA-1000 Process Manometer: MKS 1 Torr Gas Panel: Manual valve: On each line Filter: On each line Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed Exhaust: Top Has gas panel door interlock Has gas panel exhaust interlock Gas Panel Pallet: (5) Insert gas lines per chamber MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX Chamber A: Line 1: O2 / 212 / SEC-4400 Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX Line 3: N2 / 100 / SEC-4400 Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400 Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX Chamber B: Line 1: O2 / 212 / SEC-4400 Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400 Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX Mainframe: Loadlock type: 8-slot Has cassette present sensor Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT EMO Button: Front, side Has water leak detector Signal tower (front): Green, yellow, red Remotes: Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V System monitor display / conntroller: In front Has EMO button Has smoke detector Has water leak detector Heat Exchanger type: For wall: AMAT-0 x1 For cathode: NESLABE HX-150 x1 Pumps Type: LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope) Chamber A: EBARA A30W (not included in scope) Chamber B: EBARA A30W (not included in scope) 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist ein Reaktor, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ausgelegt ist. Das Werkzeug ist ein epitaktisches Abscheidungswerkzeug, das sehr vielseitig einsetzbar ist und die Abscheidung von Dünnschichten bei hohen Substrattemperaturen ermöglicht. Das Tool ist in der Lage, Ablagerungen mit mehreren Quellen mit proprietären Multi-Zone-Technologie, die die Gleichmäßigkeit zu schaffen bessere Wafer Erträge verbessert. Die hochmoderne Quelltechnologie reduziert Leistungs- und Temperaturschwankungen und sorgt für eine bessere Folienqualität und Wiederholbarkeit. Die überlegene Flexibilität des Werkzeugs ermöglicht es Anwendern, sich über eine breite Palette von Materialien abzulegen, einschließlich Oxiden, Nitriden, Metallen und Kombinationen davon. Darüber hinaus ermöglicht das Werkzeug eine Reihe von Schichtdicken, von Sub-Monoschicht bis zu mehreren hundert Nanometern. Die Möglichkeit, Parameter wie Temperatur, Druckfluss und Leistung zu manipulieren, ermöglicht es Benutzern, ihren Abscheidungsprozess nach Maß vorzunehmen. AMAT P5000 MxP ist mit einer proprietären Ultrahochvakuumausrüstung ausgestattet, die Partikel und Verunreinigungen im System reduziert und die Produktivität erhöht. Das fortschrittliche Sichtlinienabscheidungsverfahren bietet eine bessere Qualität als herkömmliche Abscheidungssysteme, indem eine vollständig abgedichtete Kammer geschaffen wird und auf Laser im Inneren reagiert wird. Dies hilft, Kontrolle, Stabilität und Wiederholbarkeit zu verbessern. Das Tool verfügt auch über fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, mit der Benutzer ihre Prozesse für Geschwindigkeit und Effizienz optimieren können. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 MxP bietet zudem eine robuste Geräteüberwachung und -diagnose, um die Zuverlässigkeit zu erhöhen und die Leistung vorherzusagen. Mit fortschrittlichen Überwachungsfunktionen kann das Tool Probleme erkennen, die durch Abscheideparameter, Atmosphärendruck oder andere anormale Bedingungen entstehen können, sodass Bediener sie schnell angehen können. Insgesamt ist P5000 MxP ein zuverlässiges, leistungsstarkes Abscheidewerkzeug, das es Anwendern ermöglicht, die hohen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung zu erfüllen. Dieses Tool bietet überlegene Flexibilität, verbesserte Qualität und Zuverlässigkeit, erhöhten Ertrag und erweiterte Prozesskontrolle. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist mit seiner fortschrittlichen Multi-Zone-Technologie und Ultrahochvakuum-Maschine die perfekte Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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