Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037735 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9037735
Weinlese: 1992
Cluster tool with 2-chamber, 8"
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MxP / Oxide etch
Position B: MxP / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Gas Panel Pallet:
(5) Insert gas lines per chamber
MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-4400
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Chamber B:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Mainframe:
Loadlock type: 8-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak detector
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLABE HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist ein Halbleiterherstellungsreaktor für eine Vielzahl von Prozessen. Es ist ein hochentwickeltes Tool mit hohem Durchsatz, das den Durchsatz maximiert und Ausfallzeiten minimiert. Die modulare Konstruktions- und Automatisierungsflexibilität von AMAT P5000 MxP ermöglicht eine schnelle Prozessentwicklung und Prozessoptimierung und ermöglicht kürzere Produktionszyklen mit höheren Erträgen. APPLIED MATERIALS P5000 MxP verfügt über eine präzise gesteuerte Druck- und Temperaturkammer, eine optimierte Plasmaquelle sowie automatisierte Prozessüberwachungs- und Fehlererkennungssysteme. Die Druckkammer wurde präzise entwickelt, um durch stabile Temperatur, Druck und Sauerstoffgehalte konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. Eine spezialisierte Hochleistungsfrequenz-agile Plasmaquelle ist ebenfalls enthalten, die eine präzise Steuerung des Prozessflusses ermöglicht. P5000 automatisierte Prozessüberwachungs- und Fehlererkennungssystem von MxP ermöglicht es Benutzern, ihre Prozessparameter in Echtzeit anzupassen und aktuelle Informationen über den Status ihres Prozesses zu erhalten. Auf diese Weise können Anwender potenzielle Probleme schnell erkennen und Korrekturmaßnahmen ergreifen, bevor sie erhebliche Verzögerungen in ihrem Produktionsprozess verursachen. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP wird durch eine einfach zu bedienende Software-Suite mit einer Vielzahl von Funktionen zur Verwaltung und Überwachung von Prozessbedingungen sowie zur Erstellung von Visualisierungen unterstützt. Die Software-Suite unterstützt Datenanalyse und Reporting sowie Rezepterstellung, Echtzeit-Prozessüberwachung und automatische Fehlererkennung. Darüber hinaus ermöglicht das automatisierte System den Anwendern, ihren Produktionsprozess effizient zu verwalten und Parameter schnell an die Prozessziele anzupassen. AMAT P5000 MxP ist ein hochentwickeltes, hochleistungsfähiges und hochflexibles Reaktorsystem für eine Vielzahl von Prozessen. Dank der Präzisionstechnik und der automatisierten Prozessmanagementfunktionen von APPLIED MATERIALS P5000 MxP können Anwender ihre Prozesse schnell entwickeln und optimieren, ihren Durchsatz maximieren und ihre Ausfallzeiten reduzieren. Mit Hilfe hochentwickelter Systeme und Software ist P5000 MxP die perfekte Wahl für zuverlässige und effiziente Halbleiterherstellungsprozesse.
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