Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037741 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9037741
Cluster tools with 2-chamber, 8"
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MarkII / Oxide etch
Position B: MarkII / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: CH-A:ENI OEM-12A CH-B:ENI OEM-12B-02
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Has gas panel remote mini-controller
Gas Panel Pallet:
MFC type: 8-lines per chamber
Gas line (gas name, MFC size): STEC SEC-4400MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: CHF3/100/SEC-4400
Line 2: O2/40/SEC-4400
Line 3: CH2F2/30/SEC-4400
Line 4: CF4/100/SEC-4400
Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX
Line 6: HBr/200/SEC-4400
Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400
Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400
Chamber B:
Line 1: CHF3/100/SEC-4400
Line 2: O2/40/SEC-4400
Line 3: CH2F2/30/SEC-4400
Line 4: CF4/100/SEC-4400
Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX
Line 6: HBr/200/SEC-4400
Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400
Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400
Mainframe:
Loadlock type: 29-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak button
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLAB HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactorm ist ein kostengünstiges Massenvolumenwerkzeug für die Prozessentwicklung. Der Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von fortschrittlichen Materialien, einschließlich Keramik und Metalle, mit hoher Effizienz bei niedrigen Kosten zu produzieren. Das Kernmerkmal des Reaktors ist sein modularer Aufbau, der es ermöglicht, für verschiedene Anwendungen und Prozesse angepasst zu werden. Der AMAT P5000 MxP-Reaktor wurde entwickelt, um den Anwendern eine optimale Temperatur-, Druck- und Zusammensetzungssteuerung zu bieten und gleichzeitig eine Materialreaktionsflexibilität zu ermöglichen. Der Reaktor ist in der Lage, Temperaturen bis 500 ° C und Drücke bis 5 bar zu handhaben. Es hat obere und untere Öffnungen für Ein- und Auslass von Gas, mit speziellen Belüftungssystemen für eine bessere Luftzirkulation. Der Reaktor verfügt auch über einstellbare Heizzonen, um eine präzise Kontrolle über Temperaturen und Reaktionsparameter zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Der modulare Aufbau des MxP-Reaktors ermöglicht eine einfache Hinzufügung von Hardware und Software und ermöglicht eine optimale Prozessroutine. Der Reaktor kann mit einer Vielzahl von Sensoren, Pumpen und anderen Komponenten integriert werden, die für eine effiziente Serienproduktion erforderlich sind. Darüber hinaus ist der Reaktor mit mehreren Steuerungs- und Überwachungssystemen ausgestattet, darunter computergesteuerte Reaktionen, automatisierte Datenerfassung und -analyse. Um die Leistung P5000 MxP-Reaktors zu maximieren, ist der Reaktor häufig mit Sekundärprozessoren wie elektrochemischen Zellen, Aufdampfkammern und Plasmaätzeinheiten gekoppelt. Der Reaktor verfügt zudem über eine umfangreiche Bibliothek mit Materialschablonen, die ein schnelles Umschalten des gewünschten Endprodukts ermöglicht. Dies ist besonders vorteilhaft in Verbindung mit Verfahrenstechnologien wie chemischer Dampfabscheidung, Sputtern und reaktivem Ionenätzen. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reaktor ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die fortschrittliche Materialentwicklung und -fertigung. Der modulare Aufbau des Reaktors und die Vielzahl an Funktionen ermöglichen es Anwendern, das System für ihre spezifische Anwendung anzupassen und zu erweitern, mit Funktionen wie präziser Temperatur und kompositorischer Steuerung, die eine bessere Prozesskontrolle, eine verbesserte Produktqualität und eine größere Vielseitigkeit ermöglichen.
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