Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218922 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP
ID: 9218922
Wafergröße: 6"
Metal etch system, 6" (2) Chambers.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP ist ein hochmoderner Plasmareaktor, der für High-End-Plasmabearbeitung in einer Reihe von Halbleiter-, Anzeige-, Brennstoffzellen- und MEMS-Anwendungen entwickelt wurde. Dieser Reaktor ist für maximale Flexibilität und Durchsatz in Produktions- und Forschungsumgebungen ausgelegt. AMAT P5000 MxP ist in der Lage, Plasma aus einer Vielzahl von Prozessgasen zu liefern, einschließlich Wasserstoff, Stickstoff und Sauerstoff. Es bietet auch einen maximalen Temperaturbereich von 750 - 1000 ° C, mit Temperaturregelmöglichkeiten einschließlich Pulsen und Quad-Zone-Betrieb. Darüber hinaus kann der Reaktor mit einer Reihe von Diagnose- und Probenhandhabungskomponenten ausgestattet werden, was den Einsatz in Echtzeit-Plasmamessungen ermöglicht. Der Reaktor verfügt über proprietäre Hardware- und Softwaresysteme, die die Lieferung äußerst zuverlässiger, wiederholbarer Prozesse ermöglichen. Dazu gehören Präzisionsabscheidungen und Ätzbehandlungen, schnelle thermische Prozesse, Rapid Prototyping sowie Präzisionsmaskenausrichtung und -einstellung. Die Steuerungsarchitektur bietet In-situ-Sensor-Feedback-Steuerung, ultraschnelles Gasmischen und Echtzeit-Spektralanalyse. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 MxP bietet eine Reihe automatisierter Prozessfunktionen wie automatische Kammerreinigung, Wafer-Be-/Entladen und mehrfache Rezepturausführung. Dieser Reaktor bietet auch erweiterte Datenerfassungsfähigkeit für Prozessüberwachung und Ergebnisberichterstattung. Darüber hinaus ist das Werkzeug für hohe Wiederholbarkeit ausgelegt, mit wartungsarmen Zugriff auf Teile und Komponenten für eine einfache Wartung und reduzierte Ausfallzeiten. Zusammenfassend ist P5000 MxP ein leistungsstarker und vielseitiger Reaktor, der auf die neuesten Plasmabearbeitungsanforderungen ausgelegt ist. Es bietet eine Reihe automatisierter Prozessfunktionen und leistungsfähige Hard- und Softwaresysteme, die es Anwendern ermöglichen, wiederholbare, zuverlässige Prozesse mit minimalen Ausfallzeiten zu realisieren.
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