Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 TEOS #293824836 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 TEOS ist eine hochmoderne Hochdurchsatz-Reaktorausrüstung zum Anbau von dünnen Schichten für eine Vielzahl von Anwendungen. Das System ist für Anwendungen zum Schneiden, Ätzen und Abscheiden von Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Metallnitriden, Metalloxiden und anderen dielektrischen Materialien konzipiert. AMAT P5000 TEOS ist mit einer Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Plasmaquelle, direktionalem Plasmaunterstützungsätzen und DLI-Technologien (Direct Liquid Injection) ausgestattet. Die ECR-Plasmaquelle wird verwendet, um eine hoch ionisierte Plasmaumgebung mit einer breiten Palette von Plasmaparametern zu schaffen. Das gerichtete Plasmaunterstützungsätzen dient zum präzisen Ätzen von Materialien an der Oberfläche des zu bearbeitenden Substrats. Dies ermöglicht eine präzise Ätzung und Hochgeschwindigkeitsabscheidung von Folien. Die DLI-Technologie, die eine Variation der chemischen Dampfabscheidung (CVD) darstellt, wird verwendet, um Filme, die in Dicke, Zusammensetzung und Struktur gleichmäßig sind, schnell abzuscheiden. Die Einheit ist modular aufgebaut und kann für spezielle Anwendungen mit einer Reihe anderer Kammerkonfigurationen kombiniert werden. Es verwendet eine fortschrittliche Roboter-Bewegungs- und Wafer-Transportmaschine, um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten und manuelle Eingriffe und Fehler zu minimieren. Das Werkzeug ist auch mit anspruchsvollen Temperier- und Überwachungssystemen ausgestattet. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS P5000 TEOS eine vielseitige, hochdurchsatzreiche und fortschrittliche Reaktoranlage, die für Dünnschichtabscheidung und -ätzung entwickelt wurde. Sie ist in der Lage, präzise Ätz-, Hochgeschwindigkeitsabscheidung und gleichmäßige Folien mit ausgezeichneter Ausbeute bereitzustellen. Die fortschrittlichen Steuerungssysteme und die automatisierte Prozesssteuerung sorgen dafür, dass ausgezeichnete Folien mit wiederholbaren und zuverlässigen Ergebnissen angebaut werden können.