Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #101854 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Halbleiterverarbeitungswerkzeug, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. AMAT P-5000 ist ein thermischer Oxidationsreaktor mit einem Vier-Zonen-Verfahren, das eine gleichmäßige und konsistente Verarbeitung ermöglicht. Diese Anlage verwendet als Reaktionskammer ein Quarzrohr, das bis zu 1500 ° C erreichen kann. Die Kontrollen ermöglichen eine Feinabstimmung von Temperatur, Druck und anderen Parametern, um eine oxidierte Oberfläche mit genauer Präzision zu erzeugen. Das System besteht aus vier Zonen, darunter Vorwärmung, Oxidation, Cool-down und Wafer Clean-up. Die Vorwärmzone besteht aus zwei Heizungen, mit denen die Temperatur des Wafers erhöht wird. Die Temperatur wird mit Thermoelementen überwacht und mit einem Temperaturregler verwaltet, um sicherzustellen, dass die Temperatur genau ist. Die Oxidationszone verwendet zur Durchführung des Oxidationsprozesses eine Reaktionskammer. Die Kammer verwendet eine Kombination aus einem Quarzrohr, einer zweistufigen Diffusionspumpe, einem Zwangsstrom von Oxidationsmitteln und/oder Reduktionsmittel und einer Mikrowellenplasmaquelle. Diese Kombination erzeugt eine oxidierte Oberfläche mit genauer Präzision. Die Abkühlzone wird verwendet, um die Temperatur des Wafers wieder auf ein sicheres Niveau zu reduzieren. Dies geschieht durch die Verwendung einer Gasspüleinheit und in der Kammer befindlicher Kühlkörper. Die Wafer Clean-up Zone wird verwendet, um die oxidierte Oberfläche des Wafers zu reinigen und zu polieren. Dies geschieht mit einer Heizplatte und einem chemischen Reinigungsprozess. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 Maschine ist sehr anpassbar, und bietet viele Funktionen wie: Dual-Zone-Temperaturregelung, Mikrowellen für die Anpassung der Materialabscheidung und verschiedene andere Annehmlichkeiten für erhöhte Produktivität. Dieses Tool ist ideal für den Einsatz in der fortgeschrittenen Halbleiterforschung und -produktion. APPLIED MATERIALS P-5000 ist in der Lage, hochpräzise, einheitliche und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen und ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie.