Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #152721 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist eine vollautomatische Reaktorausrüstung für die Herstellung von hochproduktiven Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, alle bei der Herstellung integrierter Schaltungen erforderlichen Materialien abzuscheiden, zu ätzen und zu reinigen. Das System kombiniert erweiterte Prozesssteuerung, erweiterte Substrathandhabung und Überwachungsfunktionen. AMAT P-5000 nutzt eine modulare Architektur bestehend aus einer Abscheidungsquelle, einer Ladeschloss, einer zentralen Prozesskammer und einer Wartungskammer. Die Abscheidungsquelle enthält die chemische Quelle, die Turbomolekularpumpe und die Sublimationsheizung, während die zentrale Prozesskammer eine Vakuumpumpe, Gasverteilsysteme und andere Komponenten aufweist, die für Abscheide- und Ätzprozesse benötigt werden. Zur Herstellung chemisch-mechanischer Planarisierungen umfasst APPLIED MATERIALS P 5000 eine CMP-Station mit einer chemischen Fördereinheit und einem Satz rotierender Pads. Das Loadlock hat zwei Türen für die Übertragung von Substraten aus einer äußeren Umgebung und wurde entwickelt, um die Partikeleinleitung zu minimieren. Diese Maschine ist in der Lage, Substrate zwischen vier und zwölf Zoll Durchmesser zu handhaben. Das Tool enthält eine starke Reihe von Prozessfähigkeiten zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die dielektrische Abscheidung auf Silizium, Titan und Wolfram wird durch Hochleistungs-Ionen-unterstützte Abscheidungstechnologien unterstützt. Das Ätzen von Metallen und dielektrischen Schichten wird durch Magnetronsputterätzen, induktiv gekoppeltes Plasmaätzen und physikalisches Sputtern ermöglicht. APPLIED MATERIALS P-5000 unterstützt auch thermische Prozesse wie Diffusion, Glühen und Löten. Die Anlage wurde mit einem Schwerpunkt auf hohe Produktivität und Wiederholbarkeit entwickelt, so dass es ideal für große Produktionsaufträge. Diese Ziele werden durch die Integration ausgeklügelter Prozesssteuerungsalgorithmen, benutzerfreundlicher Benutzeroberfläche, automatisierter Fehlerbehebung und Rückverfolgbarkeit erreicht. Darüber hinaus kann P 5000 einfach in viele bestehende Fabrik-Automatisierungssysteme integriert werden, was es zu einer praktikablen Lösung in Massenproduktionsumgebungen macht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Das breite Spektrum an Prozessfähigkeiten, Benutzerfreundlichkeit, hoher Durchsatz und seine Fähigkeit, in viele bestehende Produktionsanlagen integriert zu werden, macht es zu einem wertvollen Werkzeug für die Geräteherstellung. Es sorgt für eine schnelle und effiziente Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.