Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159344 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 reactor ist ein Werkzeug zum Ätzen und Abscheiden von Halbleitermaterialien. Es wird häufig bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, dünnen Schichten und verschiedenen anderen optoelektronischen Geräten verwendet. AMAT P-5000 ist in der Lage, bei niedrigen und hohen Temperaturen sowie Drücken von bis zu 10-3 bis 10-5 mbar zu arbeiten. Es kann auch für schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und schnelle thermische Glühung (RTA) verwendet werden. Die Grundkammer aus APPLIKATIONSMATERIALIEN P 5000 besteht aus einem 9 "Quarzrohr, das durch seine HF-Induktionsspule auf Temperaturen von bis zu 850C erhitzt wird, und einer darüber liegenden Quarzkuppel. Der Kern des Reaktors ist eine Gasverteilereinrichtung, die das Ätz- oder Abscheidegas gleichmäßig verteilt. Es gibt zwei externe Gaseinlässe, die unabhängig vom Quarzrohr oder der Quarzkuppel gesteuert werden können. AMAT P5000 verfügt außerdem über einen integrierten Massenstromregler (MFC) zur genauen Steuerung der Durchflussmenge der Gase. Substratträger ist integraler Bestandteil von AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000, das ein verstellbares Regal und ein 6-Punkt-elektrisches Kontaktsystem umfasst. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperatur über die Probenoberfläche gewährleistet. In die Oberseite der Einheit ist ebenfalls ein Implantatverriegelungsmechanismus integriert, mit dem Benutzer Substrate an ihren jeweiligen Orten zum Ätzen und Abscheiden platzieren können. APPLIED MATERIALS P5000 wird von der AMAT speziellen programmierbaren Steuerung (SPS) gesteuert. Dadurch wird ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und Genauigkeit erreicht. Es ist auch in Substrat- und Prozessüberwachungssysteme integriert, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen. Diagnosesoftware ermöglicht es Benutzern auch, auf Daten zuzugreifen, Leistungsdiagramme anzuzeigen, Probleme zu beheben und Maschineneinstellungen remote zu ändern. Schließlich bietet AMAT P 5000 auch zusätzliche Konfigurationen und Funktionen, die auf die Kundenanforderungen zugeschnitten werden können. Zu den Optionen gehören verschiedene Arten von Heiz-, Kühl- und Gasmischsystemen sowie zusätzliche Materialeingänge, Sensoren und Prozessüberwachung. Insgesamt ist P 5000 ein wesentliches und zuverlässiges Werkzeug für den Ätz- und Abscheidungsprozess in der Halbleiter- und Optoelektronikindustrie.