Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188664 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 188664
Wafergröße: 6"
SACVD system, 6" (2) Chambers (configured for 3) Storage elevator with (15) slots PLIS TEOS only (2) OEM 12B power supplies.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein hochproduktiver Metallätzreaktor, der eine präzise und präzise Steuerung von Materialätzprozessen ermöglicht. Diese hochmoderne Maschine ist ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das speziell auf Langlebigkeit ausgelegt ist und eine wirtschaftliche Lösung für hohe Ätzanforderungen mit Durchsatz bietet. Es ist weit verbreitet in Fertigungsprozessen wie Luft- und Raumfahrt, Automobil, Halbleiter, Dünnschicht, Elektronik und medizinischen Geräten Anwendungen. AMAT P-5000 bietet eine schnelle Verarbeitungsfähigkeit von bis zu 300 Wafern pro Stunde. Unter Verwendung der proprietären AMAT-Technologie verfügt APPLIED MATERIALS P 5000 über ein einheitliches Ätzen und eine sehr niedrige Ätzratenvariation in einer Reihe von Prozessmodulen. Die einzigartigen Ätzeigenschaften von AMAT P5000 liefern sehr homogene Ätzergebnisse mit geringer Partikelverunreinigung oder Filmdelamination. Das Verfahren beinhaltet eine einzigartige Gaseinspritzeinrichtung, die gleichmäßige Ätzergebnisse sowohl bei vorderseitigen als auch bei rückseitigen Ätzanwendungen erzeugt. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 bietet eine breite Palette von Prozessoptionen. APPLIED MATERIALS P5000 verfügt über ein zweistufiges rotierendes Waferträgersystem. Dies ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung von zwei Wafern, was eine schnellere Plasmabearbeitung an mehreren Stellen ermöglicht. Zusätzlich unterstützt P-5000 Prozesszeiten von bis zu 400 Sekunden pro Wafer und ermöglicht so aufwendige Ätzprozesse wie z.B. durch Lochdehnung. AMAT P 5000 verfügt zudem über eine hochpräzise Plasmaabgabeeinheit, die eine präzise Steuerung des reaktiven Ionenätzens und des chemischen Ätzens ermöglicht. Diese Maschine besteht aus einer patentierten Plasmaquelle und einer patentierten fortgeschrittenen Ätzvorrichtung mit fluidischer Steuerung der Waferposition. Dies in Kombination mit einer präzisen Synchronisation sowohl des et-Kamins als auch der Prozessgasinjektoren ermöglicht präzise Ätzraten und gleichmäßige Ätztiefen. APPLIED MATERIALS P-5000 wurde entwickelt, um Kosten zu reduzieren und den Durchsatz mit anpassbaren Modulen zu erhöhen. Eine Auswahl an optionalen Modulen, darunter Gaseinspritzringmodul, reaktives Ionenätzmodul, Nassätzmodul und Energieerntemodul, stehen zur Verfügung, um Prozessflexibilität zu bieten und Ausfallzeiten zu reduzieren. Das Tool verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheits- und Schutzfunktionen, wie eine integrierte Versprödung, ein fortschrittliches chemisches Ätzverfolgungsmodell und eine Crashheizung. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 ist ein hochentwickeltes, zuverlässiges und kostengünstiges Ätzwerkzeug. Es bietet effiziente und gleichmäßige Ätzergebnisse, hohe Verarbeitungsgeschwindigkeiten und eine breite Palette von Prozessoptionen für eine Vielzahl von Fertigungsprozessen. Mit seinen anpassbaren Modulen kann P 5000 konfiguriert werden, um die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen zu erfüllen.
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