Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293586392 zu verkaufen

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ID: 293586392
CVD System (2) Chambers: Etch oxide, CVD Does not include: Pump Heat exchanger.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein thermisches Hochtemperaturverarbeitungswerkzeug, das für die Herstellung fortschrittlicher Materialien wie siliziumbasierte Bauelemente, Metalle und Halbleiter verwendet wird. Dieses Werkzeug ist ein wesentlicher Bestandteil des Halbleiterherstellungsprozesses, der die Herstellung von integrierten Schaltungen mit sehr kleinen Merkmalen ermöglicht. Der AMAT- P-5000-Reaktor verwendet einen vertikalen Kaltwand-gegenüberliegenden Plasmareaktor, um hohe Phosphingasdosen für die Wafer bereitzustellen, und ist in der Lage, Temperaturen bis zu 850 ° C aufrechtzuerhalten. Die hohe Temperatur des Werkzeugs ermöglicht die Verwendung für fortgeschrittene Prozesse wie Diffusion, Oxidation, Nitridierung und die Abscheidung unterschiedlichster Materialien, wie Dielektrika und Metalle. Darüber hinaus kann das Werkzeug zur Sputterabscheidung verwendet werden, wodurch hochwertigere Folien und Materialien erhalten werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 ist mit einer speziellen CoolPlasma™-Quelle ausgestattet, die den Abscheidungsprozess verbessert, die Geschwindigkeit des Filmwachstums und der Homogenität verbessert sowie die Durchsätze und Schichten pro Wafer erhöht. Ferner weist der Reaktor einen unabhängigen Gaskasten auf, der eine flexible Mitabscheidung verschiedener Bestandteile unter Schutz der Hauptverarbeitungskammer ermöglicht. In das Werkzeug ist ein Temperaturregelungssystem integriert, das präzise Verarbeitungstemperaturen, höhere Gleichmäßigkeit und eine verbesserte Temperaturregelung bei kritischen Prozessen bietet. Eine breite Palette von fortschrittlichen Prozesstechnologien wurden im Laufe der Jahre entwickelt, so dass das Werkzeug in einer Reihe von Anwendungen verwendet werden kann, einschließlich Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung, atomare Schichtabscheidung und metalorganische chemische Dampfabscheidung. Der P 5000-Reaktor verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und Technologien, die ihn zu einem der fortschrittlichsten thermischen Verarbeitungswerkzeuge für die Anwendung und Herstellung fortschrittlicher Materialien machen. Seine fortschrittliche Plasmaquelle, Temperaturkontrollsystem und Flexibilität bieten Anwendern ein genaues und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung einer Vielzahl von Komponenten.
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