Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 293587332
Wafergröße: 6"
PECVD Systems, 6" (3) DXL 8-Slots storage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Serie ist eine wirtschaftliche, allzweckmäßige, kostengünstige Chargenabscheidung Reaktoren zur Herstellung konformer, einheitlicher und lochfreier Dünnfilmbeschichtungen auf Substraten unter Verwendung von Verdampfungs-, Sputter- und/oder Plasmaquellen. Die AMAT P-5000 Serie ist für die Herstellung von mikroelektronischen, optoelektronischen, MEMS, Leistungsbauelementen und anderen Anwendungen im Halbleiter- und/oder Nanofabrikationsmaßstab konzipiert. Die ANWENDUNGSMATERIALIEN P 5000 Serie ist für hohe Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Stabilität über ihren Betriebsbereich konzipiert, mit einem schlanken, modularen Ansatz, der eine einfache Abstimmung und Vielseitigkeit ermöglicht und gleichzeitig verschiedene Anforderungen innerhalb des Bereichs erfüllt. P-5000 verfügt über ein fortschrittliches Durchflussreaktordesign, das den Anwendern Gleichmäßigkeit und Abdeckung auch auf schwer zu beschichtenden Strukturen und Substraten ermöglicht. Der Reaktor ist mit einer gepulsten Stromquelle mit variabler Rate ausgestattet, so dass der Benutzer die Abscheiderate genau überwachen kann. Die AMAT P5000 Serie ist so konzipiert, dass sie selbst mit ihren leistungsstarken Funktionen niedrige Gesamtbetriebskosten bietet und den Bedarf an kostspieligen Ersatzteilen und Wartungsarbeiten reduziert. Als wirtschaftliche Lösung für Chargenabscheidungsprozesse umfasst die Serie APPLIED MATERIALS P5000 Merkmale wie das vakuumisolierte Anti-Kontaminationsfilter, das zum Schutz vor Kontaminationen durch Nebenprodukte verwendet werden kann. Die Serie AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 setzt auf ein- oder zweipumpige zweistufige Diffusionspumpsysteme und kryogene Kühlung, um extrem niedrige Drücke (< 1 x 10-7 Torr) und eine effiziente Temperaturregelung zu erzielen, um die thermischen Auswirkungen auf die Filmleistung zu minimieren. Der Reaktor soll Prozesse unterstützen, die Temperaturen von Raumtemperatur bis über 500 ° C erfordern. Für mehr Benutzerflexibilität bietet die Serie APPLIED MATERIALS P-5000 vier Steuerparameter für Zieldicke, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit: Leistungspegel, Abscheiderate, Filmdicke und Zeitschritt. Das Gerät verfügt auch über mehrere Prozesssensoren und kann in Verbindung mit großen Datenerfassungssystemen verwendet werden. Die AMAT P 5000 Serie umfasst intuitive Benutzeroberflächen, die eine Fernbedienung ermöglichen. Erfahrenes Personal kann die Ablagerung effektiv ohne häufige praktische Anpassung des Systems verwalten. Zukünftige Updates und Upgrades sind auch für diejenigen verfügbar, die weitere Anpassungen benötigen. Das System ist für eine lange Lebensdauer gebaut.
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