Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587974 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reaktor ist ein Halbleiterverarbeitungswerkzeug, mit dem dünne Schichten aus verschiedenen Materialien auf Substraten abgeschieden werden. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er eine präzise Prozesssteuerung sowie eine gleichmäßige Gleichmäßigkeit über jede Substratschicht hinweg ermöglicht. Dies wird durch eine Kombination aus fortschrittlichen Gasfördersystemen und mehreren unabhängig betreibbaren Kammern erreicht. AMAT P-5000 Prozesskammer ist der Hauptteil des Reaktors und es ist eine zylindrische Kammer mit einem Durchmesser von 12 Zoll und einer Höhe von 16 Zoll. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat eine hohe Vakuumfähigkeit von über 10-9 Torr. Innerhalb der Kammer ist das Substrat auf einer Halterung und ein Paar von thermischen Elektroden an der Oberseite der Kammer abgewinkelt angebracht. Die Substratheizung wird durch den Einsatz des Heizgerätes Thermal Silicon-Carbide (SiC) mit einem einstellbaren Temperaturbereich von bis zu 1000 ° C erreicht. Der Substrathalter und die thermischen Elektroden sind mit der Basisstromversorgung verbunden, was eine genaue Temperaturregelung ermöglicht und einen stabilen Temperaturbereich bietet. APPLIED MATERIALS P 5000 beinhaltet ein Gas Delivery System (GDS), das aus drei steuerbaren Gasventilen und drei Gasleitungen besteht. Mit dem GDS können Gase mit vorgegebenen Geschwindigkeiten und Konzentrationen in die Kammer eingespritzt werden. Die Gase werden verwendet, um eine Vielzahl von Prozeßchemien zu erzeugen, je nachdem, welche Materialien abgeschieden werden. Die Gase werden dann über eine Entlüftungsleitung aus der Kammer abgeführt, was eine genaue Steuerung der Kammeratmosphäre ermöglicht. P 5000 beinhaltet auch zwei zusätzliche Bearbeitungskammern, die allgemein als „Duschkopf“ und „Damaszene“ bezeichnet werden. Die Duschkopfkammer dient zur Abscheidung dünner Materialschichten auf der Substratoberfläche. Die Damaszenen-Kammer wird zur Strukturierung der Substrate mit einer Vielzahl von Materialien und Verbindungen verwendet, um ein bestimmtes Muster zu erzeugen. Um konsistente Abscheideprozessparameter über alle Substrate und Kammern zu gewährleisten, verfügt P-5000 auch über eine aufwendige Sammlung von Instrumenten. Dazu gehören ein Manometer, ein Massendurchflussmesser, ein Temperatursensor und ein Ellipsometer. Alle diese Komponenten werden verwendet, um die Prozessbedingungen zu überwachen und die Kammeratmosphäre und Betriebsparameter nach Bedarf anzupassen. Insgesamt ist P5000 Reaktor ein hochentwickeltes und präzises Halbleiterbearbeitungswerkzeug, das eine überlegene Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit über Substrate hinweg bietet. Es ist ideal für die Herstellung extrem dünner Schichten auf komplexen Substraten mit spezifischen Mustern und ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialkombinationen und Prozesschemien zu handhaben.