Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293603569 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist eine In-situ-Plasmabearbeitungsanlage für die Halbleiterherstellung und bietet eine Plattform für eine Vielzahl unterschiedlicher plasmabasierter Materialbearbeitungsfunktionen. Das System umfasst eine Vielzahl von einzigartigen Eigenschaften, darunter eine Vollmetall-Vakuumkammer, einen beheizten Substrathalter und eine automatisierte Wafer-Transporteinheit. AMAT P-5000 arbeitet mit einer Vielzahl von Prozessparametern, die eine präzise Kontrolle der Materialoberfläche ermöglichen. Es ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Gasen zu arbeiten, wie Sauerstoff, Argon und Stickstoff. Die Plasmaquelle der Maschine ist ein mikrowellengetriebenes 2,45-GHz-Magnetron, das von einem mehrstufigen HF-Netzteil gesteuert wird. Es wurde entwickelt, um den hochdichten Plasmaprozess zu unterstützen, wodurch es in der Lage ist, eine Vielzahl von Aufgaben zu erfüllen, wie das Abscheiden von dünnen Schichten, das Ätzen von Oberflächen und carbonisierende Substrate. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Vakuumkammer P 5000 ist mit einem Vollmetallkörper gebaut, um eine optimale thermische Gleichmäßigkeit und eine gegen Plasmaerosion beständige Legierung zu gewährleisten. Die Kammer verfügt außerdem über ein doppeltes Vakuumventilwerkzeug, um eine vollständige Evakuierung bei niedrigen Prozessdrücken und ein dichtungsloses Fenster zur Anzeige der Substratverarbeitung zu ermöglichen. Die vereinfachte Ladeschloßkammer ist mit einem Eintasten-Be- und Entladen-Feature ausgestattet, wodurch es einfach ist, Proben aus dem Reinraum auf AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 zu übertragen. AMAT P 5000 kann Temperaturen bis 350 ° C und einen maximalen Druck von 450 Torr halten. Es ist mit einem leistungsstarken Substrathalter ausgestattet, der die präzise und gleichmäßige Erwärmung der Probenoberfläche auf +/- 3 ° C ermöglicht. Eine Reihe von Suszeptoren und angehobenen Substraten sind mit dem Substrathalter kompatibel, um die Verarbeitung einer Vielzahl von Probengrößen und -formen zu ermöglichen. Die Wafertransportanlage ist ergonomisch und benutzerfreundlich gestaltet, wobei automatisierte Programmcodes jede Phase des Prozessablaufs steuern. AMAT P5000 ist auch mit einem fortschrittlichen Steuermodell ausgestattet, mit dem Benutzer die Parameter ihres Prozesses genau steuern können. Dies beinhaltet die Möglichkeit, die Temperatur-, Druck- und Gasströme des Prozesses zu verfolgen und zu überwachen sowie Alarmgrenzen und Protokollprozessparameter festzulegen. Damit ist APPLIED MATERIALS P-5000 ein leistungsfähiges Werkzeug zur Optimierung von Prozessen und zur Herstellung wiederholbarer und konsistenter Ergebnisse.