Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293610276 zu verkaufen

ID: 293610276
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hightech-Plasmareaktor, der für Präzisionsätz- und Abscheidungsprozesse in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Der Reaktor weist eine prozessorgesteuerte vertikale Kammergeometrie auf, die eine Reihe von Prozessparametern in einer dicht gesteuerten Gasumgebung liefern kann. Unter Verwendung einer 450mm breiten Niederdruck-Plasmakammer ermöglicht AMAT P-5000 extrem genaue Ätz- und Abscheidungsschritte, indem Wafereigenschaften wie Planheit und Wärmeausdehnungsrate erkannt werden. Darüber hinaus helfen das Prozessdruckregelsystem und der adaptive Prozessregelverstärker, die gewünschte Chemie- und Abscheiderate mit erstaunlicher Präzision zu erreichen. APPLIKATIONSMATERIALIEN P 5000 hat den Vorteil eines kontrollierten Ar-Stickstoff-Plasmas mit in-situ-Abscheidungsstufen. Dieser Multitasking-Reaktor ist auch in der Lage, Dotierstoffe mit hoher Reaktivität und ausgezeichneter Selektivität einzuführen, was eine genaue Einstellung der Geräteparameter von Dioden, Speichern und Schaltern ermöglicht. Das Ultra-High-Speed-Modell des Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 ermöglicht eine Abscheiderate von bis zu 20 nm pro Minute. Dies hilft beim schnellen Wiederverbinden von Atomen, die zuvor auseinandergebrochen wurden oder weggetrieben sind. Es ermöglicht auch die gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Schichten, wodurch die Anzahl der Schritte und die Zeit für die Elementintegration reduziert werden. Darüber hinaus integriert P 5000 ein temperaturbasiertes Echtzeit-Prozessleitsystem. Dies trägt dazu bei, die Anzahl der benötigten Retikel zu reduzieren und gleichzeitig die Genauigkeit des Ätz- und Abscheidungsprozesses sicherzustellen. Darüber hinaus hilft das Enhanced P/N Closure Feature Kurzschlüsse zu vermeiden und die Ausbeuten der Werkzeuge zu maximieren. Darüber hinaus überwacht und untersucht die Funktion Automatische Endpunktmessung produktiv die Prozessschritte des Geräts in einem umfangreichen Einstellungsspektrum. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS P5000 ein leistungsstarker und hochkonfigurierbarer Reaktor, der in einer Vielzahl von Halbleiterätz- und -abscheidungsprozessen eingesetzt werden kann. Es ist in der Lage, präzise Prozessparameter und eine automatisierte temperaturunterstützte Prozesssteuerung bereitzustellen, die Konsistenz und hohe Ausbeuten mit minimierten Retikeln gewährleistet.
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