Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729488 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor ist ein spezielles Halbleiterwerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist eine einzigartige Plattform, die flexibel für eine Vielzahl von Prozessen konfiguriert werden kann, einschließlich Plasmaätzen, Abscheiden und Reinigen. Das Werkzeug besteht aus einer Edelstahl-Vakuumkammer, die auf einen Basisdruck von mehreren Millitorr abgepumpt wird. Die Kammer wird durch die Verkleidungskomponenten thermisch und vibrativ isoliert, um stabile Bodenbedingungen während des Betriebs zu gewährleisten. Das in der Kammer befindliche obere Tischgerät beherbergt Elektroden- und Waferhalter, die mit den Stromversorgungen verbunden sind. Der Waferhalter kann bis zu zwei Wafer in Dual-Wafer-Haltern unterstützen. Die Elektrode ist oberhalb der Waferoberfläche aufgehängt und gewährleistet eine gleichmäßige Plasmabelastung der Wafer. AMAT P-5000 Reactor verwendet zur Konfiguration der Kammer mit den notwendigen Prozessgasen ein Gasfördersystem inklusive Gaspanel und Verteiler. Eine Rezirkulationseinheit ermöglicht es der Kammer, niedrige Werte der rückseitigen Ausgasung beizubehalten, um Produktverunreinigungen zu verhindern. Eine einzigartige HEPA-Filtrationsmaschine kann eingebaut werden, um luftgetragene Partikel zu reduzieren. Der Rezept-Manager, der sich in der Basis des Tools befindet, ist für die Steuerung der verschiedenen Rezepte und Einstellungen für die Prozesse verantwortlich. Alle Temperatur-, Druck- und Plasmaeinstellungen können angepasst werden, um den Durchsatz und die Ausbeute entsprechend zu optimieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 Reaktor ist ein zuverlässiges Arbeitstier für viele fortschrittliche integrierte Schaltkreisverarbeitungsstrategien. Seine Flexibilität und Kapazität für individuelle Konfigurationen machen es zu einem wirksamen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein einzigartiges Design ermöglicht es Prozessingenieuren, die neuesten Verarbeitungstechniken zu nutzen, um hohe Erträge bei wettbewerbsfähigen Durchsätzen zu erzielen.