Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056845 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9056845
Wafergröße: 6"
CVD System, 6"
Software rev. E5.03
(4) Chambers:
(2) TEOS deposition chambers
(2) TEOS etch chambers
Currently crated.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein High-End-Hochleistungs-Ätzreaktor, der von fortschrittlichen Halbleiterherstellern zur Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es handelt sich um einen Hochdruck-Hochtemperaturätzreaktor, der auf Probleme im Zusammenhang mit der Skalierung der Mikro- und Nanostrukturen der neuesten integrierten Schaltungen ausgerichtet ist. AMAT P-5000 verwendet Dual-Frequency-Wafer-Spannfutter, um den Wafer einzeln zu positionieren und zu klemmen. Dies ermöglicht eine effizientere und genauere Ätzbearbeitung. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einem Mehrton-Flugzeit-Massenspektrometer (TOFMS) zur präzisen Steuerung von Ätzprozessen ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ätzabscheidung auf das Nanometerniveau gesteuert wird. APPLIED MATERIALS P 5000 verwendet außerdem hocheffizienten HF-Generator und HF-Stromquelle, um die Verlustleistung während des Ätzprozesses deutlich zu reduzieren. AMAT P5000 nutzt ein fortschrittliches automatisiertes System zur präzisen Überwachung des Ätzprozesses. Dazu gehören hochauflösende Digitalkameras zur direkten Visualisierung des Ätzes während der Verarbeitung sowie High-End-Sicht- und Leitsysteme zur präzisen Steuerung der Ätzkammer und Wafer-Spannfutterbewegungen. Zusätzlich nutzt der Reaktor ein ausgeklügeltes Datenerfassungs- und Verarbeitungssystem zur präzisen und präzisen Analyse des Ätzprodukts. P 5000 ist mit einer ganzen Reihe von Sensortechnologien ausgestattet, einschließlich Infrarot-, Ultraviolett- und sichtbarer Spektroskopie, Bildgebung und Partikelzählung. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Charakterisierung des Ätzprodukts. Darüber hinaus ist die Ätzkammer auch mit ultraschneller Temperaturmessung ausgestattet, die eine präzise Regelung der Kammertemperaturen gewährleistet. In Summe ist APPLIED MATERIALS P5000 ein High-End-Hochleistungs-Ätzreaktor, der sich ideal für den Einsatz in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung eignet. Es umfasst fortschrittliche Automatisierung und präzise Steuerungsfunktionen, die die Herstellung kostengünstiger und genauer integrierter Schaltungen ermöglichen.
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