Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083283 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor ist eine hochmoderne Ausrüstung für fortschrittliche Materialien und Folienabscheidung. Es verwendet elektronenstrahlverstärkte chemische Dampfabscheidung (EBCVD), ein chemisches Verfahren, das mehrere dünne Materialschichten mit Hilfe der Energie eines Elektronenstrahls auf ein Substrat schichtet, um reaktive Gasmoleküle in Atome zu dissoziieren, die mit dem Substrat reagieren und dieses beschichten. AMAT P-5000 ist ein Rohrreaktor mit 13,56 MHz HF-Generator. Es zeichnet sich durch hochdichtes Plasma zur gleichmäßigen Abscheidung aus und eignet sich für eine breite Palette fortschrittlicher Materialabscheidungsanwendungen. Das System schließt eine Doppelzonenelektronbalkenpistole der heißen Wand für die Absetzungsratenkontrolle und den Erhöhten Macht-KREISBOGEN + Eigenschaft ein, die Absetzungsrate und Gleichförmigkeit verbessert. Die Funktion „Verbesserter Wärmetunnel“ ermöglicht eine Hochtemperaturgleichförmigkeit auf dem Substrat. Die kühle, HF-gesteuerte Quarz-Prozesskammer verfügt über 5 "- und 7" -Wafer-Pods mit einer 4 "-Option, die einen schnellen Waferwechsel ermöglicht. Das Gerät bietet eine flexible Folienabscheidung, da es eine breite Palette von Materialien und Abscheidetechniken unterstützt. Beispiele sind Metallisierung, CMP und Oxidation/Nitridierung. Der große, wartungsarme E-Strahl-Quellenhalter ermöglicht eine schnelle und einfache Wartung und spart Zeit und Kosten. Die Maschine bietet auch fortschrittliche Schnittstellen zur Steuerung des Abscheideprozesses und bietet eine außergewöhnliche Überwachung von Abscheidungsleistung, Wafertemperatur und anderen Parametern. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 Reaktor ist mit Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit im Auge entworfen. Zu den Sicherheitsmerkmalen des Werkzeugs gehören ein Sauerstoff- und Gasabschaltgerät, eine Reinraumzugangskontrolle sowie Fernüberwachung und Alarmfunktionen. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Reihe von Ablagerungszubehör kompatibel, was eine einfachere Integration von Komponenten wie Lastschlössern, Workstations und Scheinsubstraten ermöglicht. Insgesamt bietet AMAT P5000 Reactor eine zuverlässige, vielseitige Plattform für die fortschrittliche Materialabscheidung. Mit seinen leistungsstarken Funktionen und der einfachen Bedienung bietet das Gerät eine großartige Lösung für diejenigen, die ein qualitativ hochwertiges Abscheidesystem suchen.
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