Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083567 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein halbautomatischer Plasmareaktor zur Herstellung von dünnen Schichten auf Siliziumbasis. Dieser Reaktor ist mit einer komplett computergestützten Ausrüstung zur Steuerung der Prozessumgebung und zur Leistungsüberwachung ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Foliendicke und Gleichmäßigkeit sowie die Steuerung der Abscheidegeschwindigkeit. Der Reaktor besteht aus einer Kragenkammer, einer Basiskammer und einer Reglerplatte. Die Kragenkammer ist die Hauptabscheidekammer, die eine zylindrische Kathode, das Ausgangsmaterial, das das Material zur Abscheidung liefert, und eine Vakuumpumpe, die das Vakuum in der Kammer erzeugt, aufnimmt. In der Basiskammer ist das Gasfördersystem untergebracht, das den Vorstromfluss und die in der Plasmaform verwendete Aktivierungsenergie steuert. Das Controller-Panel ist die computergesteuerte Steuereinheit, mit der die Variablen innerhalb der Prozessumgebung überwacht und eingestellt werden. AMAT bringt P-5000 eine Plasmaform durch Zufuhr von Vorläufer- und Aktivierungsenergie in die Hauptabscheidekammer auf. Der Vorläufer ist ein Ausgangsmaterial, das durch den Prozess der Ionisation abgebaut und durch die Aktivierungsenergie aktiviert wird. Die Vorläufer- und Aktivierungsenergie werden durch ihre jeweiligen Kammeröffnungsventile auf die beiden Kammern aufgeteilt. Die Kragenkammer wird dann abgedichtet, so dass sie bei einem Vakuum von bis zu 10-7 Torr arbeiten kann. Die ionisierte Vorstufe und Aktivierungsenergie erzeugen eine Plasmaform, mit der die dünnen Filme auf den Wafer aufgebracht werden. Die aus dem Plasma erzeugte Wärme treibt auch den Sauerstoff aus den dünnen Schichten aus, der für einen nachfolgenden Passivierungsvorgang benötigt wird. Die Folien werden mit einer typischen Rate von 10-20 Angström/s mit einem Abscheidefenster von 0,4-4,0 Angström abgeschieden. Bei diesem Verfahren entstehen Folien, die äußerst gleichmäßig sind und ausgezeichnete Hafteigenschaften aufweisen. Filme können zwischen drei und mehreren hundert Angström dick sein, mit einer Dicke und Gleichmäßigkeit, die leicht kontrolliert werden kann. Folienhärte kann besonders angefertigt werden und kann von 40 Kgf bis 17 Kgf reichen. Die Abscheiderate und andere Größen wie Druck, HF-Leistung, Durchflussrate und Pulsbreite können mit der computergesteuerten Steuerungsmaschine leicht eingestellt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN P 5000 ist ein ideales Werkzeug zur Herstellung von dünnen Schichten auf Siliziumbasis in einer Vielzahl von Anwendungen. Es wird in Branchen wie Flachbildschirme, Photovoltaikzellen, MEMS und Mikroelektronik eingesetzt. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung hat P 5000 eine beispiellose Leistung für die Herstellung von dünnen Filmen mit präziser Kontrolle und perfekter Gleichmäßigkeit.