Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9092874
Wafergröße: 6"
Deposition system, 6" Process capability: 30pph Chamber 1: Oxide: LH DryVAC 100S, RUVAC 250, ENI 12B-1250W Chamber 2: Oxide: LH DryVAC 100S, RU VAC 250, ENI 12B-1250W Chamber 3: Oxide: LH DryVAC 100S, RUVAC 250 Controller type: PC S/W Rev.: ROSS 4.8 Process Gases: TEOS/O2?C3F8 External cooling: Water cooled.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hochtemperaturreaktor, der für die Prozessentwicklung, gemeinsame Entwicklung und Herstellung fortschrittlicher Materialien konzipiert ist. Dieses System ist in der Lage, Prozesse des chemischen Aufdampfens (CVD) und des chemischen mechanischen Polierens (CMP) vollautomatisch und hocheffizient durchzuführen. Dieser Reaktor verwendet die neueste Technologie in CVD und CMP, um die höchste Prozesskontrolle und Ausbeute zu bieten. AMAT P-5000 ist mit einer vertikalen Reaktorkammer ausgelegt, die drei entsprechende Scheiben zum Be- und Entladen von Substraten aufnimmt. Das vertikale Design von APPLIED MATERIALS P 5000 ermöglicht die Unterstützung und Verarbeitung einer Vielzahl von Substratmaterialien innerhalb derselben Plasmakammer. Das Prozessprogramm von APPLIED MATERIALS P5000 ist vollautomatisiert und auf die Arbeit mit anspruchsvollen Rezepturen ausgelegt, die einen optimalen und reproduzierbaren Abscheide- und Polierprozess ermöglichen. Ein speziell entwickeltes Multi-Gas-Fördersystem ermöglicht die präzise Steuerung der Gaszufuhr während des CVD-Prozesses, was eine bessere Kontrolle und Qualität des Prozesses ermöglicht. Je nach Materialbedarf können P-5000 mit bis zu drei Reaktandengasen und einem Spülgas gleichzeitig appliziert werden. P5000 ist in der Lage, CMP-Prozesse bei Temperaturen bis 500 ° C mit einer gleichförmigen Substrattemperatur über die gesamte Substratoberfläche durchzuführen. Ein einzigartiges Wasserströmungssystem stellt sicher, dass ein zuverlässiger und effizienter CMP-Prozess erreicht wird, während ein unabhängiges Verweilzeitmanagement einen optimierten und einheitlichen Behandlungsprozess garantiert. AMAT P 5000 verfügt über erweiterte Automatisierungsfunktionen und arbeitet mit einer Kommunikationsschnittstelle wie dem Standard Communication Protocol (SCPI). Es unterstützt auch die Ferndiagnose und die Online-Überwachung des CVD- und CMP-Prozesses und ermöglicht eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -anpassungen. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 ist für hohe Produktivität und Ausbeute ausgelegt und eignet sich für die automatisierte Herstellung von fortschrittlichen Materialien. Mit Funktionen wie präziser Prozesssteuerung, fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen und Hochtemperatur-CMP-Prozessen bietet AMAT P5000 eine robuste Lösung für die Herstellung hochwertiger fortschrittlicher Materialien.
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