Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9118859 zu verkaufen

ID: 9118859
CVD system Chambers: (2) Dep (2) Etch Spare robots.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein fortschrittlicher Automatisierungsreaktor, der speziell für fortschrittliche Materialsysteme entwickelt wurde. Dieser Reaktor integriert die höchste Präzision Antriebsstrang, Kapazität, Kompatibilität und Anpassungstechnologien, um Prozesswiederholbarkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Mit seiner flexiblen Automatisierungsarchitektur bietet AMAT P-5000 optimierte Leistung, um die Anforderungen an die Anlagenautomatisierung zu erfüllen. ANWENDUNGSMATERIALIEN P 5000 Reaktor besteht aus einem Gas/Gas-Zufuhrsystem, einem Automatisierungssteuerpult, einer Mehrzonen-Strahlungsheizungsanordnung und einer Halbleiter-Prozesskammer. Die Gas-Gas-Fördereinheit pumpt Reaktanden sowohl aus der Dampf- als auch aus der Flüssigphase aus Tanks in den Reaktor. Das Automatisierungs-Bedienfeld enthält einen leistungsfähigen Prozessor und ist mit der Kammer, der Heizung und anderen Subsystemen verbunden. Es ist verantwortlich für die Steuerung von Maschinenparametern wie Druck, Temperatur und Zusammensetzung der Reaktantgase. Die Mehrzonen-Strahlungsheizungsanordnung besteht aus einer Folge von unabhängig steuerbaren gasbefeuerten Strahlungsrohren, die an einer faltenbalgbetriebenen mechanischen Struktur befestigt sind. Die Mehrfachzonenfähigkeit dieser Baugruppe ermöglicht eine genaue Temperaturregelung, die optimale Prozessrezepte und Leistung ermöglicht. Die Halbleiterprozesskammer besteht aus einer mit elektromagnetischen Spulen ausgekleideten Quarzkammer. Diese Spulen erzeugen innerhalb der Kammer ein magnetisches Wechselfeld, das zur Ansteuerung des Reaktionsprozesses unter Steuerung der Reaktantenverteilung dient. AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reaktor verfügt auch über Prozesskonditionierungsfunktionen, die eine Reaktionspflege während der Inbetriebnahme und im stationären Zustand ermöglichen. Diese Parameter werden eingestellt, um sicherzustellen, dass die Prozesskammer während des gesamten Betriebsprozesses konsistente Schlüsselprozessparameter wie Temperatur und Reaktantenkonzentrationen beibehält. Darüber hinaus ist P5000 in der Lage, eine breite Palette von Chemikalien zu handhaben, so dass es für Anwendungen wie Nanofabrikation, Gasphasenabscheidung und Dünnschichtabscheidung geeignet ist. Abschließend ist AMAT P 5000 ein Hochleistungsreaktorwerkzeug, das optimierte Leistung und verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet. Mit seinen automatisierten Komponenten und robusten Prozesskonditionierungsmöglichkeiten ist APPLIED MATERIALS P5000 in der Lage, eine breite Palette von Chemikalien zu handhaben, was es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Verarbeitung fortschrittlicher Materialsysteme macht.
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