Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9144772 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 ist ein Hochdurchsatz-Parallelreaktor für MOCVD-Anwendungen (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). Der Reaktor nutzt einen modularen Aufbau, der überlegene Skalierbarkeit und Prozessflexibilität in strategischen Blickfeld (FOV) - und Kammerhohlraumkonfigurationen bietet. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz mit Anwendungen für die Messtechnik, Lithographie, Materialwissenschaft und MicroElectroMechanical Systems (MEMS) Gerätebearbeitung zu bieten. Die Prozesskammer von AMAT P-5000 ist mit einem Massenstromregler (MFC) ausgestattet, der die Zufuhr von Inertgas und Prozessgasen steuert, während die Substrattemperatur durch einen thermisch effizienten Substrathalter geregelt wird. Die MFC ist mit einem digitalen Regler und Temperaturmesssystem gekoppelt, das eine präzise Steuerung der Prozessumgebung bietet. Das Gerät verfügt außerdem über eine fortschrittliche Schnittstelle zwischen Wafer und Raffinerie, die mögliche Verschmutzungen minimiert und die Reproduzierbarkeit von Prozessfenstern erhöht. Neben der Prozesskammer umfasst APPLIED MATERIALS P 5000 auch eine in-situ Messtechnik-Maschine, die eine zuverlässige Echtzeit-Überwachung des Prozesszustands und der Genauigkeit bietet. Mit hochwertigen optischen Instrumenten kann das Messtechnik-Tool Oberflächenbilder der Probe erfassen und eine Vielzahl von Daten analysieren, einschließlich Kristallwachstum und Gleichmäßigkeit. Dies gewährleistet eine zuverlässige Hochdurchsatzproduktion mit geringen Kontaminationsrisiken oder anderen Anomalien. P-5000 verfügt über ein Transportkapital, das auf Robustheit und Flexibilität ausgelegt ist, Prozessausfallzeiten minimiert und abgestürzte Wafer vermeidet. Dieses Transportmodell bietet eine enge Steuerung der Rotordrehzahl und der Waferzentrierung sowie eine ausfallsichere Ausrüstung zur automatischen Fehlererkennung. Das Gesamtdesign P5000 Systems ist für maximalen Durchsatz und überlegene Flexibilität optimiert. Mit seiner überlegenen Skalierbarkeit, Prozessvielfalt und engen Prozesssteuerungsfunktionen erfüllt AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 sicher die Anforderungen von MOCVD-Anwendungen in den Halbleiter- und verwandten Industrien.