Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153667 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 reactor ist ein branchenführendes Ätzgerät, mit dem eine Vielzahl von Materialscheiben in den Märkten Mikroelektronik, Nanoelektronik, Datenspeicherung und Optoelektronik geätzt werden. Es ist Teil einer kompletten Suite von Ätzwerkzeugen, die von AMAT angeboten werden und die höchste Zuverlässigkeit, tiefste Ätzraten und breiteste Prozessfenster bieten. AMAT P-5000 ist für das generelle Ätzen konzipiert, einschließlich High-Aspect-Ratio-Etch, und kann exakt mehrstufige Strukturen schaffen, die eine komplizierte Strukturierung der komplexesten integrierten Schaltungen ermöglichen. Angewandte Materialien P 5000 ist in der Lage, konsistente Ätzprofile durch eine Vielzahl von verschiedenen Ätzrezepten bereitzustellen, von denen die präziseste mit einer Plasma-unterstützten Ätzkonfiguration ist. Diese Anordnung umfasst eine Vakuumkammer, eine HF-Stromversorgung, eine Prozessgassteuereinheit und eine Antenne oder Einspritzelektrode. Der Atmosphärendruck in der Kammer wird mit einer mechanischen Pumpe und einem Regler aufrechterhalten, während das Ätzgas über ein Gasfördersystem in die Kammer eingespeist wird. Das mikrowellenerzeugte Plasma besteht aus Ionen, Radikalen und anderen aktivierten Arten, die eine hochgeladene Umgebung schaffen, die Ätzraten auf den exponierten Materialien fördert. APPLIED MATERIALS P-5000 ist mit einer Modulated Electron Cyclotron Resonance (MECR) Patform ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit des Plasmas verbessert, die Ätzzeit reduziert und den Durchsatz erhöht. AMAT P 5000 ist eines der fortschrittlichsten verfügbaren Ätzsysteme und bietet eine Vielzahl von Rezepten und hohe Leistung. P5000 wurde entwickelt, um scharfe, tiefe Ätzprofile in einer Vielzahl von Materialien zu erzeugen, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Photoresists. Mit der präzisen Steuerung der Ätzraten ermöglicht APPLIED MATERIALS P5000 schnellere Lithographie- und Mikrobearbeitungsprozesse. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 verfügt über eine fortschrittliche Photoionisationssteuereinheit, die eine schnelle Reaktion auf Steuerungsfehler gewährleistet und hochgenaue Prozessergebnisse aufrechterhält. Darüber hinaus ist P 5000 mit Echtzeit-Leistungsüberwachungs- und Diagnosetools ausgestattet, die die Prozessoptimierung und -überwachung erleichtern. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 reactor eine fortschrittliche Ätzmaschine, die entwickelt wurde, um tiefe, präzise Ätzprofile mit einstellbaren Prozessparametern, hohen Ätzraten, ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und schnellen Prozesszeiten zu erzeugen.
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